[發明專利]蒸鍍用掩模板

在審

• 申請號: 201711465247.0
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN108198956A
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 朱東日
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;C23C14/04
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;武岑飛

本發明提供了一種蒸鍍用掩模板，包括板體，所述板體包括一蒸鍍面以及與蒸鍍面相對的接觸面，所述板體上陣列排布有用于蒸鍍的蒸鍍通孔，所述板體上位于蒸鍍通孔之間的這部分板體為第一遮擋部，所述蒸鍍通孔貫穿蒸鍍面以及接觸面，所述蒸鍍通孔的開口尺寸小于有機發光二極管面板中隔離柱之間的開口尺寸，從而使蒸鍍通孔上形成第二遮擋部。與現有技術相比，通過將蒸鍍通孔的開口尺寸設計為小于隔離柱間的開口尺寸，從而使位于有機發光層中間位置的有機發光層的厚度得以降低，實現中間位置的厚度與靠近隔離柱位置的厚度相對均勻，提高蒸鍍的均勻性，從而提高產品的良率。

技術領域

本發明涉及一種顯示面板技術，特別是一種顯示器件的蒸鍍用掩模板。

背景技術

有機發光二極管器件(OLED，Organic Light Emitting Diode)與傳統的液 晶顯示器相比，具有更低的功耗，同時還擁有高亮度、高響應速度和寬色域， 已經成為顯示領域目前的主流器件。

不同于液晶顯示器，OLED是自發光器件，傳統的OLED顯示器像素點的 著色方式是將紅色、綠色、藍色三通有機材料通過蒸鍍的方式沉積在基板對應 的像素位置上，為了防止相互顏色間接觸造成短路，會設置隔離柱進行隔離， 在有機材料的蒸鍍過程中需要用到一種蒸鍍掩膜板(蒸鍍MASK)，該中蒸鍍掩 膜板為在對應像素電的位置上開設蒸鍍通孔，為了保證蒸鍍的效果，會將蒸鍍 通孔的開口尺寸設計為大于隔離柱間的開口尺寸，從而保證蒸鍍能夠完全填充 相應的基板位置上，但是這樣的蒸鍍方式存在，由于開口尺寸過大，導致蒸鍍 后像素點位置上的有機發光層中間的厚度大于靠近隔離柱的厚度，導致蒸鍍不 均勻，容易出現產品良率低的問題。

發明內容

為克服現有技術的不足，本發明提供一種蒸鍍用掩沒板，提高蒸鍍的均勻 性，從而提高產品的良率。

本發明提供了一種蒸鍍用掩模板，包括板體，所述板體包括一蒸鍍面以及 與蒸鍍面相對的接觸面，所述板體上陣列排布有用于蒸鍍的蒸鍍通孔，所述板 體上位于蒸鍍通孔之間的這部分板體為第一遮擋部，所述蒸鍍通孔貫穿蒸鍍面 以及接觸面，所述蒸鍍通孔的開口尺寸小于有機發光二極管面板中隔離柱之間 的開口尺寸，從而使蒸鍍通孔上形成第二遮擋部。

進一步地，所述蒸鍍通孔的的孔壁為光滑表面。

進一步地，所述蒸鍍通孔位于蒸鍍面的一側開口的開口尺寸大于位于接觸 面的一側開口的開口尺寸，形成截面為倒梯形的蒸鍍通孔。

進一步地，所述蒸鍍通孔為階梯孔，包括第一孔和第二孔，所述第一孔設 于蒸鍍面的一側，第二孔設于接觸面的一側，所述第一孔的開口尺寸大于第二 孔的開口尺寸。

進一步地，所述蒸鍍面以及蒸鍍通孔的孔壁上設有不粘涂層。

進一步地，所述板體的材料為金屬合金。

進一步地，所述金屬合金為鐵鎳合金、鎳鈷合金或者鐵鈷合金中的任意一 種。

進一步地，所述不粘涂層為氧化鋁陶瓷膜或二氧化鈦陶瓷膜。

本發明與現有技術相比，通過將蒸鍍通孔的開口尺寸設計為小于隔離柱間 的開口尺寸，從而使位于有機發光層中間位置的有機發光層的厚度得以降低， 實現中間位置的厚度與靠近隔離柱位置的厚度相對均勻，提高蒸鍍的均勻性， 從而提高產品的良率。

附圖說明

圖1是本發明蒸鍍用掩模板的第一種結構示意圖；

圖2是本發明蒸鍍用掩模板的第二種結構示意圖；

圖3是本發明蒸鍍用掩模板的第三種結構示意圖；

圖4是本發明蒸鍍用掩模板的第四種結構示意圖；

圖5是本發明蒸鍍用掩模板的第五種結構示意圖；