[發明專利]一種基于紫外固化的新型光柵復制方法

在審

• 申請號: 201711460938.1
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN107884856A
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 盧禹先;王玉清;劉暢;姚玉潔;潘明忠;尹祿
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所杭州大江東空間信息技術研究院
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18
• 代理公司: 成都頂峰專利事務所(普通合伙)51224
• 代理人: 何紅信

1.一種基于紫外固化的新型光柵復制方法，其特征在于，其包括如下步驟：

步驟S1：提供一母版光柵和基底；

步驟S2：對所述步驟S1所提供的母版光柵和基底進行超聲波清洗；

步驟S3：在完成所述步驟S2后的母版光柵上均勻涂覆潤滑油；

步驟S4：在完成所述步驟S3后的母版光柵上均勻涂覆紫外固化膠；

步驟S5：將所述步驟S1中所提供的所述基底置于經過所述步驟S4處理后的所述母版光柵上；并采用紫外光對其進行照射，使得所述紫外固化膠固化；

步驟S6：完成所述步驟S5后，將所述母版光柵和所述基底分離，使得在所述基底上形成復制光柵；

步驟S7：在所述復制光柵表面形成反射膜。

2.根據權利要求1所述的一種基于紫外固化的新型光柵復制方法，其特征在于，還包括步驟S8：

對完成所述步驟S7后的復制光柵進行超聲波清洗。

3.根據權利要求1所述的一種基于紫外固化的新型光柵復制方法，其特征在于，在所述步驟S2中，對所述母版光柵和所述基底進行超聲波清洗的步驟包括：

S201：將體積比為1:1:5的NH₄OH、H₂O₂和H₂O組成的混合液作為清洗液，用其對母版光柵和基底進行超聲波清洗；

S202：將體積比為1:1:6的HCl、H₂O₂和H₂O組成的混合液作為清洗液，用其對完成所述步驟S201后的母版光柵和基底進行超聲波清洗；

S203：將甲苯作為清洗液，用其對完成所述步驟S202后的母版光柵和基底進行超聲波清洗；

S204：將丙酮作為清洗液，用其對完成所述步驟S203后的母版光柵和基底進行超聲波清洗；

S205：將酒精作為清洗液，用其對完成所述步驟S204后的母版光柵和基底進行超聲波清洗；

S206：將蒸餾水作為清洗液，用其對完成所述步驟S205后的母版光柵和基底進行超聲波清洗。

4.根據權利要求1所述的一種基于紫外固化的新型光柵復制方法，其特征在于，在所述步驟S3中，在所述母版光柵上均勻涂覆潤滑油的步驟包括：

S301：利用真空鍍膜機將所用潤滑油中所包含氣泡抽出；

S302：通過旋涂法將經過所述步驟S301處理后的潤滑油均勻涂覆于母版光柵的表面。

5.根據權利要求4所述的一種基于紫外固化的新型光柵復制方法，其特征在于，在所述步驟S302中，潤滑油的涂覆速度為10000rpm，旋涂時間為15s，使得在所述母版光柵上形成厚度為10nm的潤滑油層。

6.根據權利要求1所述的一種基于紫外固化的新型光柵復制方法，其特征在于，在所述步驟S4中，在所述母版光柵上均勻涂覆紫外固化膠的步驟包括：

S401：利用真空鍍膜機將所用的紫外固化膠中所包含氣泡抽出；

S402：通過勻膠機將經過所述步驟S401處理后的紫外固化膠均勻涂覆于母版光柵的表面。

7.根據權利要求6所述的一種基于紫外固化的新型光柵復制方法，其特征在于，在所述步驟S402中，紫外固化膠的涂覆速度為3000rpm，涂覆時間為30s，使得在所述母版光柵上形成厚度為10μm的紫外固化膠層。

8.根據權利要求1所述的一種基于紫外固化的新型光柵復制方法，其特征在于，在所述步驟S7中，是通過真空鍍膜機以蒸鍍的方式在所述復制光柵表面形成反射膜的。

9.根據權利要求2所述的一種基于紫外固化的新型光柵復制方法，其特征在于，在所述步驟S8中，對完成所述步驟S7后的復制光柵進行超聲波清洗的步驟包括：

S801：將丙酮作為清洗液，用其對完成所述步驟S7后的復制光柵進行超聲波清洗；

S802：將去離子水作為清洗液，用其對完成所述步驟S801后的復制光柵進行超聲波清洗。

10.根據權利要求9所述的一種基于紫外固化的新型光柵復制方法，其特征在于，在所述步驟S801和所述步驟S802中超聲波清洗的時間分別為10-30分鐘。