[發明專利]COA基板的測試鍵以及使用其的測試方法有效
| 申請號: | 201711460921.6 | 申請日: | 2017-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN108196408B | 公開(公告)日: | 2021-03-23 |
| 發明(設計)人: | 何偉 | 申請(專利權)人: | TCL華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1362 | 分類號: | G02F1/1362 |
| 代理公司: | 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304 | 代理人: | 孫偉峰;武岑飛 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | coa 測試 以及 使用 方法 | ||
提供了一種COA基板的測試鍵和一種使用所述COA基板的測試鍵的測試方法。所述COA基板的測試鍵包括:第一測試鍵,包括紅色色阻圖案、形成在紅色色阻圖案中的第一過孔圖案以及第一金屬層圖案;第二測試鍵,包括綠色色阻圖案、形成在綠色色阻圖案中的第二過孔圖案以及第二金屬層圖案;第三測試鍵,包括藍色色阻圖案、形成在藍色色阻圖案中的第三過孔圖案以及第三金屬層圖案,第一金屬層圖案、第二金屬層圖案和第三金屬層圖案由同一金屬層形成。所述COA基板的測試鍵占用較小的空間并且能夠同時測量色阻層相對于薄膜晶體管層的對位精度和色阻層中的過孔的線寬。
技術領域
本發明涉及液晶顯示器技術領域,尤其涉及一種COA基板的測試鍵和一種使用所述COA基板的測試鍵的測試方法。
背景技術
現有的薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD,Thin Film Transistor LiquidCrystal Display)的COA(Color Filter on Array)基板是將彩色濾光片制作在薄膜晶體管陣列基板上。
目前,RGB色阻層中的過孔線寬的測試鍵和RGB色阻層與薄膜晶體管層的對位精度的測試鍵是獨立設計的圖案,這種設計占用的空間較大,而且在進行上述兩種測量時,需要在測量RGB色阻層的過孔線寬的測試鍵之后,移動測試裝置的鏡頭來測量RGB色阻層與薄膜晶體管層的對位精度的測試鍵,這樣就導致生產節拍時間較長。
發明內容
本發明的目的在于提供一種占用空間小并且能夠縮短生產節拍時間的COA基板的測試鍵以及一種使用所述COA基板的測試鍵的測試方法。
根據本發明的一方面,提供了一種COA基板的測試鍵,所述COA基板的測試鍵包括:第一測試鍵,包括紅色色阻圖案、形成在紅色色阻圖案中的第一過孔圖案以及第一金屬層圖案,用于同時測量紅色色阻圖案相對于第一金屬層圖案的偏移量和紅色色阻圖案中的第一過孔圖案的線寬;第二測試鍵,包括綠色色阻圖案、形成在綠色色阻圖案中的第二過孔圖案以及第二金屬層圖案,用于同時測量綠色色阻圖案相對于第二金屬層圖案的偏移量和綠色色阻圖案中的第二過孔圖案的線寬;第三測試鍵,包括藍色色阻圖案、形成在藍色色阻圖案中的第三過孔圖案以及第三金屬層圖案,用于同時測量藍色色阻圖案相對于第三金屬層圖案的偏移量和綠色色阻圖案中的第三過孔圖案的線寬,其中,第一金屬層圖案、第二金屬層圖案和第三金屬層圖案由同一金屬層形成。
包括在第一測試鍵中的紅色色阻圖案和第一金屬層圖案均為矩形,并且紅色色阻層圖案的四個邊分別與第一金屬層圖案的四個邊平行,包括在第二測試鍵中的綠色色阻圖案和第二金屬層圖案均為矩形,并且綠色色阻層圖案的四個邊分別與第二金屬層圖案的四個邊平行,包括在第三測試鍵中的藍色色阻圖案和第三金屬層圖案均為矩形,并且藍色色阻層圖案的四個邊分別與第三金屬層圖案的四個邊平行。
紅色色阻圖案相對于第一金屬層圖案的偏移量包括紅色色阻圖案在第一方向上相對于第一金屬層圖案的第一偏移量以及紅色色阻圖案在與第一方向垂直的第二方向上相對于第一金屬層圖案的第二偏移量,綠色色阻圖案相對于第二金屬層圖案的偏移量包括綠色色阻圖案在第一方向上相對于第二金屬層圖案的第三偏移量以及綠色色阻圖案在與第一方向垂直的第二方向上相對于第二金屬層圖案的第四偏移量,藍色色阻圖案相對于第三金屬層圖案的偏移量包括藍色色阻圖案在第一方向上相對于第三金屬層圖案的第五偏移量以及藍色色阻圖案在與第一方向垂直的第二方向上相對于第三金屬層圖案的第六偏移量,其中,第一方向是紅色色阻圖案、綠色色阻圖案和藍色色阻圖案中的彼此平行的邊延伸的方向,第二方向與第一方向垂直。
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