[發明專利]COA基板的測試鍵以及使用其的測試方法

有效

• 申請號: 201711460921.6
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN108196408B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 何偉
• 申請（專利權）人: TCL華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;武岑飛

1.一種COA基板的測試鍵，其特征在于，所述COA基板的測試鍵包括：

第一測試鍵，包括紅色色阻圖案、形成在紅色色阻圖案中的第一過孔圖案以及第一金屬層圖案，用于同時測量紅色色阻圖案相對于第一金屬層圖案的偏移量和紅色色阻圖案中的第一過孔圖案的線寬；

第二測試鍵，包括綠色色阻圖案、形成在綠色色阻圖案中的第二過孔圖案以及第二金屬層圖案，用于同時測量綠色色阻圖案相對于第二金屬層圖案的偏移量和綠色色阻圖案中的第二過孔圖案的線寬；

第三測試鍵，包括藍色色阻圖案、形成在藍色色阻圖案中的第三過孔圖案以及第三金屬層圖案，用于同時測量藍色色阻圖案相對于第三金屬層圖案的偏移量和綠色色阻圖案中的第三過孔圖案的線寬，

其中，第一金屬層圖案、第二金屬層圖案和第三金屬層圖案由同一金屬層形成。

2.如權利要求1所述的COA基板的測試鍵，其特征在于，包括在第一測試鍵中的紅色色阻圖案和第一金屬層圖案均為矩形，并且紅色色阻層圖案的四個邊分別與第一金屬層圖案的四個邊平行，

包括在第二測試鍵中的綠色色阻圖案和第二金屬層圖案均為矩形，并且綠色色阻層圖案的四個邊分別與第二金屬層圖案的四個邊平行，

包括在第三測試鍵中的藍色色阻圖案和第三金屬層圖案均為矩形，并且藍色色阻層圖案的四個邊分別與第三金屬層圖案的四個邊平行。

3.如權利要求2所述的COA基板的測試鍵，其特征在于，紅色色阻圖案相對于第一金屬層圖案的偏移量包括紅色色阻圖案在第一方向上相對于第一金屬層圖案的第一偏移量以及紅色色阻圖案在與第一方向垂直的第二方向上相對于第一金屬層圖案的第二偏移量，

綠色色阻圖案相對于第二金屬層圖案的偏移量包括綠色色阻圖案在第一方向上相對于第二金屬層圖案的第三偏移量以及綠色色阻圖案在與第一方向垂直的第二方向上相對于第二金屬層圖案的第四偏移量，

藍色色阻圖案相對于第三金屬層圖案的偏移量包括藍色色阻圖案在第一方向上相對于第三金屬層圖案的第五偏移量以及藍色色阻圖案在與第一方向垂直的第二方向上相對于第三金屬層圖案的第六偏移量，

其中，第一方向是紅色色阻圖案、綠色色阻圖案和藍色色阻圖案中的彼此平行的邊延伸的方向，第二方向與第一方向垂直。

4.如權利要求3所述的COA基板的測試鍵，其特征在于，第一偏移量為(f1-h1)/2，其中，f1和h1分別為紅色色阻圖案和第一金屬層圖案的彼此平行的四對邊中的在第一方向上的兩對之間的距離，

第二偏移量為(g1-i1)/2，其中，g1和i1分別為紅色色阻圖案和第一金屬層圖案的彼此平行的四對邊中的在第二方向上的兩對之間的距離，

第三偏移量為(f2-h2)/2，其中，f2和h2分別為綠色色阻圖案和第二金屬層圖案的彼此平行的四對邊中的在第一方向上的兩對之間的距離，

第四偏移量為(g2-i2)/2，其中，g2和i2分別為綠色色阻圖案和第二金屬層圖案的彼此平行的四對邊中的在第二方向上的兩對之間的距離，

第五偏移量為(f3-h3)/2，其中，f3和h3分別為藍色色阻圖案和第三金屬層圖案的彼此平行的四對邊中的在第一方向上的兩對之間的距離，

第六偏移量為(g3-i3)/2，其中，g3和i3分別為藍色色阻圖案和第三金屬層圖案的彼此平行的四對邊中的在第二方向上的兩對之間的距離。

5.如權利要求1所述的COA基板的測試鍵，其特征在于，第一過孔圖案與第一金屬層圖案疊置，第二過孔圖案與第二金屬層圖案疊置，第三過孔圖案與第三金屬層圖案疊置。

6.如權利要求5所述的COA基板的測試鍵，其特征在于，第一過孔圖案的面積大于第一金屬層圖案的面積，第二過孔圖案的面積大于第二金屬層圖案的面積，第三過孔圖案的面積大于第三金屬層圖案的面積。

7.如權利要求6所述的COA基板的測試鍵，其特征在于，第一過孔圖案、第二過孔圖案和第三過孔圖案均為矩形。

8.如權利要求1所述的COA基板的測試鍵，其特征在于，金屬層的漏極區通過貫穿色阻層的過孔與像素電極連接。

9.一種同時測量COA基板的色阻圖案相對于金屬層圖案的偏移量和色阻圖案中的過孔圖案的線寬的測試方法，其特征在于，使用如權利要求1-8中的任何一個中所述的COA基板的測試鍵。