[發(fā)明專利]一種四頭式激光蝕刻機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711459491.6
• 申請(qǐng)日: 2017-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN108115287A
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陶雄兵;李貴群;昌斌;嚴(yán)達(dá)榮;徐俊南
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鞍山盛雄激光設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/362
• 分類號(hào): B23K26/362;B23K26/064;B23K26/142;B23K26/70
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 張春水;唐京橋

1.一種四頭式激光蝕刻機(jī)，包括：機(jī)柜底座和位于所述機(jī)柜底座上方的工作平臺(tái)，其特征在于，所述工作平臺(tái)上設(shè)有定位系統(tǒng)和并列設(shè)置的四組光路系統(tǒng)；所述每組光路系統(tǒng)依次包括：激光發(fā)生器、擴(kuò)束鏡、振鏡和場(chǎng)鏡，所述激光發(fā)生器、擴(kuò)束鏡和振鏡同軸；所述場(chǎng)鏡位于所述振鏡的下方，并與所述振鏡同軸；所述場(chǎng)鏡連接抽風(fēng)組件，用于保持蝕刻工件表面的清潔度；

所述定位系統(tǒng)與所述振鏡和所述場(chǎng)鏡的中心軸線平行，包括左右并列設(shè)置的兩個(gè)CCD視覺(jué)系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四頭式激光蝕刻機(jī)，其特征在于，所述激光發(fā)生器連接有光隔離器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四頭式激光蝕刻機(jī)，其特征在于，還包括：光路外罩，所述光路系統(tǒng)設(shè)在光路外罩內(nèi)，所述光路外罩包括光路底板，所述光路底板背離所述光路通道的一側(cè)設(shè)有用于連接所述工作平臺(tái)的第一安裝板。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的四頭式激光蝕刻機(jī)，其特征在于，所述光路系統(tǒng)通過(guò)固定架可拆卸安裝在所述光路底板上。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的四頭式激光蝕刻機(jī)，其特征在于，所述擴(kuò)束器連接調(diào)整架，所述調(diào)整架上設(shè)有連接所述光路底板的固定部。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的四頭式激光蝕刻機(jī)，其特征在于，所述CCD視覺(jué)系統(tǒng)通過(guò)第二安裝板固定于所述光路底板上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的四頭式激光蝕刻機(jī)，其特征在于，所述CCD視覺(jué)系統(tǒng)包括CCD鏡頭和保護(hù)罩，所述CCD鏡頭設(shè)在保護(hù)罩內(nèi)，所述CCD鏡頭通過(guò)CCD固定塊固定于所述第二安裝板上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四頭式激光蝕刻機(jī)，其特征在于，所述工作平臺(tái)包括立柱和橫板，所述光路系統(tǒng)和CCD視覺(jué)系統(tǒng)設(shè)在所述立柱的頂部，所述立柱的底部與所述橫板垂直連接，所述橫板連接部連接所述機(jī)柜底座。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四頭式激光蝕刻機(jī)，其特征在于，還包括：吸附平臺(tái)，所述吸附平臺(tái)位于所述CCD視覺(jué)系統(tǒng)的下方，所述抽風(fēng)組件的出風(fēng)口正對(duì)所述吸附平臺(tái)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的四頭式激光蝕刻機(jī)，其特征在于，還包括：運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)位于所述吸附平臺(tái)的下方，并連接所述吸附平臺(tái)。