[發明專利]一種四頭式激光蝕刻機

在審

• 申請號: 201711459491.6
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN108115287A
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發明（設計）人: 陶雄兵;李貴群;昌斌;嚴達榮;徐俊南
• 申請（專利權）人: 鞍山盛雄激光設備有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/064;B23K26/142;B23K26/70
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張春水;唐京橋

本發明所的四頭式激光蝕刻機含多個激光蝕刻工位，大大地提高了生產效率高；而且，本發明激光蝕刻機的定位系統包括左右并列設置的兩個CCD視覺系統，定位更為準確，節約加工工序和加工時間，提高了生產效率。本發明的四頭式激光蝕刻機包括：機柜底座和位于機柜底座上方的工作平臺，工作平臺上設有定位系統和并列設置的四組光路系統；每組光路系統依次包括：激光發生器、擴束鏡、振鏡和場鏡，激光發生器、擴束鏡和振鏡同軸；場鏡位于振鏡的下方，并與振鏡同軸；場鏡連接抽風組件，用于保持蝕刻工件表面的清潔度；定位系統與振鏡和場鏡的中心軸線平行，包括左右并列設置的兩個CCD視覺系統。

技術領域

本發明屬于激光蝕刻機技術領域，具體涉及一種四頭式激光蝕刻機。

背景技術

目前，激光蝕刻技術廣泛應用于液晶觸摸屏銀漿線路蝕刻、修復，ITO及各類金屬導電膜線路激光蝕刻，PCB行業薄膜電路光刻掩膜板激光蝕刻成型，以及太陽能光伏硅基板薄膜電路蝕刻等多個技術領域。然而，目前市場上的激光蝕刻機大部分為單工位操作設備，生產效率低下，無法滿足目前大規模生產的需要。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明的目的在于提供一種四頭式激光蝕刻機，其具體技術方案如下：

一種四頭式激光蝕刻機，包括：機柜底座和位于所述機柜底座上方的工作平臺，其特征在于，所述工作平臺上設有定位系統和并列設置的四組光路系統；所述每組光路系統依次包括：激光發生器、擴束鏡、振鏡和場鏡，所述激光發生器、擴束鏡和振鏡同軸；所述場鏡位于所述振鏡的下方，并與所述振鏡同軸；所述場鏡連接抽風組件，用于保持蝕刻工件表面的清潔度；

所述定位系統與所述振鏡和所述場鏡的中心軸線平行，包括左右并列設置的兩個CCD視覺系統。

優選的，所述激光發生器連接有光隔離器。

優選的，所述四頭式激光蝕刻機還包括：光路外罩，所述光路系統設在光路外罩內，所述光路外罩包括光路底板，所述光路底板背離所述光路通道的一側設有用于連接所述工作平臺的第一安裝板。

更優選的，所述光路系統通過固定架可拆卸安裝在所述光路底板上。

更優選的，所述擴束器連接調整架，所述調整架上設有連接所述光路底板的固定部。

更優選的，所述CCD視覺系統通過第二安裝板固定于所述光路底板上。

更優選的，所述CCD視覺系統包括CCD鏡頭和保護罩，所述CCD鏡頭設在保護罩內，所述CCD鏡頭通過CCD固定塊固定于所述第二安裝板上。

優選的，所述工作平臺包括立柱和橫板，所述光路系統和CCD視覺系統設在所述立柱的頂部，所述立柱的底部與所述橫板垂直連接，所述橫板連接部連接所述機柜底座。

優選的，所述四頭式激光蝕刻機還包括：吸附平臺，所述吸附平臺位于所述CCD視覺系統的下方，所述抽風組件的出風口正對所述吸附平臺。

更優選的，所述四頭式激光蝕刻機還包括：運動平臺，所述運動平臺位于所述吸附平臺的下方，并連接所述吸附平臺。

相對于現有激光蝕刻機，本發明所提供的激光蝕刻機含多個激光蝕刻工位，大大地提高了生產效率高；而且，本發明激光蝕刻機的定位系統包括左右并列設置的兩個CCD視覺系統，定位更為準確，節約加工工序和加工時間，提高了生產效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明優選實施例的四頭式激光蝕刻機的主體結構示意圖；