[發(fā)明專利]一種foup盒用自動門及foup盒自動開啟和密封方法

有效

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• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN109969595B
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙治國;鄒風(fēng)山;華正雨;邊弘曄;于海亮;李國彬
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司
• 主分類號: B65D55/14
• 分類號: B65D55/14;B65D43/26
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

本發(fā)明提供了一種foup盒用自動門及一種foup盒自動開啟和密封的方法。本發(fā)明提供的foup盒用自動門，包括：浮動門蓋板、浮動密封門、橫移氣缸、橫移氣缸連接板、浮動門伸縮氣缸。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)foup盒的自動開啟和自動真空密封，縮小了密封門所占空間，密封效果好，結(jié)構(gòu)合理且成本低。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域的自動化真空密封裝置的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種foup盒用自動門及foup盒自動開啟和密封方法。

背景技術(shù)

隨著工業(yè)自動化的快速發(fā)展，硅片加工行業(yè)中，硅片的加工，硅片盒及硅片搬運(yùn)、取放的自動化程度很高。硅片在真空環(huán)境內(nèi)傳輸和加工是保證硅片加工潔凈度重要手段，因此真空密封裝置是硅片加工技術(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。foup盒用自動門是連接硅片加工設(shè)備內(nèi)部和外部重要的過渡部分，原有的foup盒用自動門一般采開門向內(nèi)，造成密封門所占空間大，成本高，密封效果差。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種foup盒用自動門及一種foup盒自動開啟和密封的方法。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例中提供了一種foup盒用自動門，包括：

直線軸承，所述直線軸承固定在foup盒所在的基板上；

浮動門蓋板，所述浮動門蓋板上設(shè)有真空吸盤，所述真空吸盤用于吸緊foup盒的后蓋；

浮動密封門，所述浮動密封門上固定有密封氣缸，所述密封氣缸的伸縮桿和foup盒所在的基板相接觸，所述直線軸承的伸縮桿與所述浮動密封門相接觸，所述浮動密封門相對foup盒所在的基板可移動；

橫移氣缸，所述橫移氣缸上安裝有橫移滑塊，所述橫移滑塊在所述橫移氣缸的驅(qū)動下移動；

橫移氣缸連接板，所述橫移氣缸連接板的一端與所述浮動密封門連接，所述橫移氣缸的另一端與所述橫移氣缸上的橫移滑塊連接；所述浮動密封門可以在所述橫移滑塊的移動的帶動下移動；

浮動門伸縮氣缸，所述浮動門伸縮氣缸設(shè)置在所述浮動密封門上并與所述浮動門蓋板相連接，在所述浮動門伸縮氣缸的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)有浮動門伸縮導(dǎo)軌滑塊。

可選地，在一些實(shí)施例中，本發(fā)明提供的自動門還包括密封膠墊，所述密封膠墊設(shè)置在foup盒所在的基板上，所述密封膠墊緊靠foup盒的一側(cè)用于固定foup盒。

可選地，在一些實(shí)施例中，所述密封氣缸的數(shù)量為2個，分別位于所述foup盒用自動門的上端和下端，分別記做為第一密封氣缸和第二密封氣缸。

可選地，在一些實(shí)施例中，在所述浮動門伸縮氣缸的兩側(cè)各設(shè)有一浮動門伸縮導(dǎo)軌滑塊，分別記做第一浮動門伸縮導(dǎo)軌滑塊和第二浮動門伸縮導(dǎo)軌滑塊。

可選地，在一些實(shí)施例中，所述真空吸盤的數(shù)量為兩個。

可選地，在一些實(shí)施例中，還包括后罩板，所述后罩板安裝在所述浮動密封門的外部。

可選地，在一些實(shí)施例中，所述直線軸承的數(shù)量為4個。

可選地，在一些實(shí)施例中，所述浮動門伸縮氣缸的兩側(cè)的浮動門伸縮導(dǎo)軌滑塊分別記做第一浮動門伸縮導(dǎo)軌滑塊和第二浮動門伸縮導(dǎo)軌滑塊，所述第一浮動門伸縮導(dǎo)軌滑塊和第二浮動門伸縮導(dǎo)軌滑塊設(shè)置在所述浮動密封門上或foup盒的解鎖裝置上。

第二方面，本發(fā)明還提供了一種foup盒自動開啟和密封方法，利用本發(fā)明所提供的foup盒用自動門，包括步驟：

S101、固定在浮動門蓋板上的真空吸盤吸緊foup盒的后蓋，與浮動門蓋板連接的浮動門伸縮缸的伸縮桿收縮，帶動浮動門伸縮導(dǎo)軌滑塊，將foup盒的后蓋取下并移動到自動門的內(nèi)部；

S102、在密封氣缸和直線軸承的作用下，浮動密封門浮起；