[發明專利]一種在料舟表面沉積金屬涂層的方法

有效

• 申請號: 201711452203.4
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN109972096B
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 但敏;金凡亞;顏復秀;許澤金;高觀金;肖俊虎;韓珍珍
• 申請（專利權）人: 核工業西南物理研究院;成都同創材料表面科技有限公司;成都虹波實業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/02;C23C14/16
• 代理公司: 核工業專利中心 11007
• 代理人: 高安娜

1.一種在料舟表面沉積金屬涂層的方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

步驟1)去除料舟舟體表面毛刺；

步驟2)對料舟及鍍膜工裝進行清洗；

步驟3)涂層沉積，具體步驟為

步驟3.1)將料舟安裝到鍍膜工裝上，露出要沉積涂層的部位；

步驟3.2)將料舟及鍍膜工裝安裝至真空鍍膜設備中，實現公轉自轉；

步驟3.3)抽真空至真空度優于3×10^-3Pa后，開啟加熱電源進行烘烤除氣，直至加熱溫度達到200℃后，保溫至真空鍍膜設備真空度優于3×10^-3Pa；

步驟3.4)采用自輝光進行氬離子輝光濺射刻蝕清洗，向真空室送入氬氣直到真空室的真空度在1～10Pa，脈沖負偏壓1000V，占空比80％，持續5～20分鐘；

步驟3.5)采用小多弧金屬Mo靶，向真空室通入氬氣直到真空室的壓強為5～10Pa，調節靶電流在100～140A之間，并對工件施加脈沖電壓300V，占空比150％，直流電壓50V，進行離子鍍沉積金屬Mo涂層，涂層厚度1～10微米；

步驟3.6)隨爐真空冷卻至50℃，完成金屬Mo涂層的沉積；

步驟3.7)取件并拆除工裝；

所述的步驟2)對料舟及鍍膜工裝進行清洗，具體為：

步驟2.1)將料舟及鍍膜工裝放入盛有除油劑的水槽中，開啟加熱電源進行加熱，直至加熱溫度達到50℃后，用軟毛刷輕刷去除料舟及鍍膜工裝上的油污及灰塵；

步驟2.2)將料舟及鍍膜工裝用去離子水沖洗，去除料舟及鍍膜工裝上除油劑；

步驟2.3)將料舟及鍍膜工裝放入盛有干凈無水酒精的超聲波設備中清洗，持續10～30min；

步驟2.4)超聲清洗后的料舟及鍍膜工裝用壓縮空氣吹干；

待沉積涂層的為用于高純Mo粉還原爐的料舟，料舟本體材料為高溫合金鋼，由舟體及加強筋組成，需要沉積涂層的部位是在舟體的內壁，此時步驟3)中采用多弧離子鍍進行金屬Mo涂層沉積。

2.如權利要求1所述的一種在料舟表面沉積金屬涂層的方法，其特征在于，所述的步驟3.2)中公轉轉速1～3轉/min，自轉2～6轉/min。