[發(fā)明專利]一種超薄氧化鋅球殼的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711447796.5 | 申請日： | 2017-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN108128799B | 公開（公告）日： | 2020-03-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 石增良;王瀟璇;徐春祥 | 申請（專利權(quán)）人： | 東南大學(xué) |
| 主分類號： | C01G9/02 | 分類號： | C01G9/02;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 吳飛 |
| 地址： | 210088 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 超薄 氧化鋅 制備 方法 | ||
1.一種超薄氧化鋅球殼的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
1)利用激光燒蝕法制備核殼結(jié)構(gòu)的氧化鋅@鋅微球；
1a)開啟激光器，調(diào)節(jié)透鏡的位置，將激光光束聚焦、焦點于金屬鋅靶材表面；
1b)向襯底上滴加去離子水或無水乙醇，直至鋪滿襯底；
1c)調(diào)節(jié)激光輸出功率為150～300mW，在常溫空氣中對金屬鋅靶材燒蝕2～10min；
1d)將襯底置于真空下60℃下烘干，在襯底上得到氧化鋅@鋅微球；
2)將制得的氧化鋅@鋅微球置于管式爐中，對管式爐抽真空至真空度達(dá)到100Pa，通入保護氣體調(diào)節(jié)管式爐內(nèi)氣壓，使氣壓穩(wěn)定在100Pa；
3)設(shè)置管式爐參數(shù)為升溫10～15h至500～600℃后，退火2～3h，得到超薄氧化鋅球殼；所述超薄氧化鋅球殼的殼壁厚度在10nm以下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄氧化鋅球殼的制備方法，其特征在于，步驟1b)中，所述襯底為硅片或石英片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄氧化鋅球殼的制備方法，其特征在于，步驟1c)中，所述激光輸出功率為200～220mW，燒蝕時間為4～6min。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄氧化鋅球殼的制備方法，其特征在于，步驟2)中，所述保護氣體為惰性氣體或氮氣。
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