[發明專利]一種真空大氣轉換腔的充氣裝置及充氣方法、真空濺射設備

有效

• 申請號: 201711447671.2
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN108588667B
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 黃秋平
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/34;F17C5/06;F17C13/02;F17C13/04
• 代理公司: 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙) 44238
• 代理人: 孫威;潘中毅

1.一種真空大氣轉換腔的充氣裝置，其特征在于，包括：

接入所述真空大氣轉換腔中的第一充氣管路，所述第一充氣管路上設有第一閥體；

接入所述真空大氣轉換腔中的第二充氣管路，所述第二充氣管路上設有第二閥體；

用以判斷所述真空大氣轉換腔中的氣體壓力值是否達到預設值的壓力監控判斷模塊；

用以判斷所述真空大氣轉換腔中的氧氣濃度值是否達到預設值的氧氣濃度監控判斷模塊；以及

用以根據所述壓力監控判斷模塊或所述氧氣濃度監控判斷模塊得出的判斷信號，控制所述第一閥體和/或所述第二閥體的開啟或關閉的控制模塊，其中：

所述壓力監控判斷模塊分別與所述真空大氣轉換腔和所述控制模塊相連，所述氧氣濃度監控判斷模塊分別與所述真空大氣轉換腔和所述控制模塊相連，所述控制模塊分別與所述第一閥體和所述第二閥體相連；

所述控制模塊接收充氣信號，其控制打開所述第一閥體，關閉所述第二閥體，通過所述第一充氣管路向所述真空大氣轉換腔中充入非氧化性氣體；

當所述壓力監控判斷模塊判斷所述真空大氣轉換腔中的氣體壓力值達到預設值時，所述控制模塊控制關閉所述第一閥體，打開第二閥體，通過所述第二充氣管路向所述真空大氣轉換腔中充入含有氧化性氣體的氣體；

當所述氧氣濃度監控判斷模塊判斷所述真空大氣轉換腔中的氧氣濃度值達到預設值時，所述控制模塊控制關閉所述第二閥體。

2.如權利要求1所述的真空大氣轉換腔的充氣裝置，其特征在于，所述第一充氣管路充入的氣體為氮氣，所述第二充氣管路充入的氣體為壓縮空氣。

3.如權利要求1所述的真空大氣轉換腔的充氣裝置，其特征在于，還包括：與所述控制模塊相連的用以向所述控制模塊發送充氣信號的計時器和/或壓力器。

4.如權利要求1所述的真空大氣轉換腔的充氣裝置，其特征在于，所述壓力監控判斷模塊至少包括壓力計，所述氧氣濃度監控判斷模塊至少包括氧氣濃度計。

5.一種真空濺射設備，其特征在于，包括：進片腔室、與所述進片腔室相連的真空大氣轉換腔、與所述真空大氣轉換腔相連的加熱腔室以及與所述加熱腔室相連的至少一個成膜腔室，所述真空大氣轉換腔包括如權利要求1-4任一項所述的真空大氣轉換腔的充氣裝置。