[發(fā)明專利]一種真空大氣轉(zhuǎn)換腔的充氣裝置及充氣方法、真空濺射設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711447671.2
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN108588667B
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃秋平
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/34;F17C5/06;F17C13/02;F17C13/04
• 代理公司: 深圳匯智容達(dá)專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44238
• 代理人: 孫威;潘中毅

本發(fā)明公開了一種真空大氣轉(zhuǎn)換腔的充氣裝置，包括：第一充氣管路，第一充氣管路上設(shè)有第一閥體；第二充氣管路，第二充氣管路上設(shè)有第二閥體；壓力監(jiān)控判斷模塊；氧氣濃度監(jiān)控判斷模塊；以及控制模塊，其中：壓力監(jiān)控判斷模塊分別與真空大氣轉(zhuǎn)換腔和控制模塊相連，氧氣濃度監(jiān)控判斷模塊分別與真空大氣轉(zhuǎn)換腔和控制模塊相連，控制模塊分別與第一閥體和第二閥體相連。本發(fā)明還公開了一種真空大氣轉(zhuǎn)換腔的充氣方法和真空濺射設(shè)備。實(shí)施本發(fā)明的真空大氣轉(zhuǎn)換腔的充氣裝置及充氣方法、真空濺射設(shè)備，能夠?qū)Τ錃獾臍怏w進(jìn)行切換，在有效解決膜質(zhì)氧化問題的基礎(chǔ)上消除安全隱患。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種真空大氣轉(zhuǎn)換腔的充氣裝置及充氣方法、真空濺射設(shè)備。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，液晶顯示器具有低輻射、低功耗以及體積小等特點(diǎn)，逐漸成為顯示器件的主流，廣泛應(yīng)用在手機(jī)、筆記本電腦、平板電視等產(chǎn)品上。隨著面板尺寸逐漸增加，像素分辨率要求提高，越來越多的生產(chǎn)線應(yīng)用更大型的真空濺射設(shè)備。一方面，該真空濺射設(shè)備具有大體積、高功率等特點(diǎn)，以應(yīng)對更大尺寸的成膜需求。另一方面，各生產(chǎn)線產(chǎn)品對導(dǎo)電線阻抗降低的需求，直接引起濺射成膜厚度的增加，從而導(dǎo)致金屬膜溫度的急劇上升。

例如：現(xiàn)有的真空濺射成膜設(shè)備在濺射銅膜時，由相應(yīng)的測定溫度曲線可知，當(dāng)濺射銅膜厚度增加到800nm時，基板溫度最高上升到190攝氏度。由于基板溫度的增加，極易引起所鍍膜的氧化以及由溫度引起的不均勻等各種問題，從而影響所成膜的膜質(zhì)，降低設(shè)備的性能。

另一方面，為了解決氧化問題，現(xiàn)有技術(shù)是引入非氧化性氣體進(jìn)行充氣，但在設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)切換時，又存在容易導(dǎo)致檢測人員窒息的安全隱患。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種真空大氣轉(zhuǎn)換腔的充氣裝置及充氣方法、真空濺射設(shè)備，能夠?qū)Τ錃獾臍怏w進(jìn)行切換，在有效解決膜質(zhì)氧化問題的基礎(chǔ)上消除安全隱患。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種真空大氣轉(zhuǎn)換腔的充氣裝置，包括：接入真空大氣轉(zhuǎn)換腔中的第一充氣管路，第一充氣管路上設(shè)有第一閥體；接入真空大氣轉(zhuǎn)換腔中的第二充氣管路，第二充氣管路上設(shè)有第二閥體；用以判斷真空大氣轉(zhuǎn)換腔中的氣體壓力值是否達(dá)到預(yù)設(shè)值的壓力監(jiān)控判斷模塊；用以判斷真空大氣轉(zhuǎn)換腔中的氧氣濃度值是否達(dá)到預(yù)設(shè)值的氧氣濃度監(jiān)控判斷模塊；以及用以根據(jù)壓力監(jiān)控判斷模塊或氧氣濃度監(jiān)控判斷模塊得出的判斷信號，控制第一閥體和/或第二閥體的開啟或關(guān)閉的控制模塊，其中：壓力監(jiān)控判斷模塊分別與真空大氣轉(zhuǎn)換腔和控制模塊相連，氧氣濃度監(jiān)控判斷模塊分別與真空大氣轉(zhuǎn)換腔和控制模塊相連，控制模塊分別與第一閥體和第二閥體相連；其中，控制模塊接收充氣信號，其控制打開第一閥體，關(guān)閉第二閥體，通過第一充氣管路向真空大氣轉(zhuǎn)換腔中充入非氧化性氣體；當(dāng)壓力監(jiān)控判斷模塊判斷真空大氣轉(zhuǎn)換腔中的氣體壓力值達(dá)到預(yù)設(shè)值時，控制模塊控制關(guān)閉第一閥體，打開第二閥體，通過第二充氣管路向真空大氣轉(zhuǎn)換腔中充入含有氧化性氣體的氣體；當(dāng)氧氣濃度監(jiān)控判斷模塊判斷真空大氣轉(zhuǎn)換腔中的氧氣濃度值是否達(dá)到預(yù)設(shè)值時，控制模塊控制關(guān)閉第二閥體。

其中，第一充氣管路充入的氣體為氮?dú)猓诙錃夤苈烦淙氲臍怏w為壓縮空氣。

其中，還包括：與控制模塊相連的用以向控制模塊發(fā)送充氣信號的計時器和/或壓力器。

其中，壓力監(jiān)控判斷模塊至少包括壓力計，氧氣濃度監(jiān)控判斷模塊至少包括氧氣濃度計。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還公開了一種真空濺射設(shè)備，包括：進(jìn)片腔室、與進(jìn)片腔室相連的真空大氣轉(zhuǎn)換腔、與真空大氣轉(zhuǎn)換腔相連的加熱腔室以及與加熱腔室相連的至少一個成膜腔室，真空大氣轉(zhuǎn)換腔包括上述的真空大氣轉(zhuǎn)換腔的充氣裝置。