[發(fā)明專利]塑封方法及采用該塑封方法制備的封裝體在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711433779.6 | 申請(qǐng)日: | 2017-12-26 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108598044A | 公開(公告)日: | 2018-09-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 譚小春;高陽;魏厚韜 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 合肥矽邁微電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L23/31 | 分類號(hào): | H01L23/31;H01L21/56 |
| 代理公司: | 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 高翠花 |
| 地址: | 230001 安徽省合肥市*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 塑封 金屬薄片 塑封槽 治具 塑封模具 封裝產(chǎn)品 封裝體 芯片 內(nèi)表面 塑封料 移除 制備 電磁屏蔽作用 塑封體表面 包覆芯片 金屬圖形 載體連接 工藝流程 布線層 導(dǎo)電層 散熱片 塑封體 節(jié)約 覆蓋 | ||
本發(fā)明提供塑封方法及采用該塑封方法制備的封裝體,塑封方法包括步驟:待封裝產(chǎn)品包括一載體,在載體上設(shè)置有至少一個(gè)芯片,芯片與載體連接;提供塑封模具,所述塑封模具具有一塑封槽,提供治具,治具形狀與塑封槽形狀相同,且治具覆蓋塑封槽內(nèi)表面,在治具內(nèi)表面形成金屬薄片;放置塑封料,并將待封裝產(chǎn)品與塑封槽扣合,待封裝產(chǎn)品具有芯片的表面朝向塑封槽內(nèi);塑封,塑封料形成塑封體,并包覆芯片,形成封裝體;移除塑封模具,治具隨塑封模具一同被移除,金屬薄片覆蓋在塑封體表面。優(yōu)點(diǎn)是,節(jié)約工藝流程,節(jié)約成本,金屬薄片不僅起到電磁屏蔽作用。還可以作為導(dǎo)電層使用,同時(shí)金屬薄片具備散熱片功能,另外,可在金屬薄片上形成金屬圖形,作為布線層使用。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域,尤其涉及一種塑封方法及采用該塑封方法制備的封裝體。
背景技術(shù)
隨著電子產(chǎn)品的發(fā)展,半導(dǎo)體科技已廣泛地應(yīng)用于制造內(nèi)存、中央處理器(CPU)、液晶顯示裝置(LCD)、發(fā)光二極管(LED)、激光二極管以及其它裝置或芯片組等。由于半導(dǎo)體組件、微機(jī)電組件(MEMS)或光電組件等電子組件具有微小精細(xì)的電路及構(gòu)造,因此為避免粉塵、酸堿物質(zhì)、濕氣和氧氣等污染或侵蝕電子組件,進(jìn)而影響其可靠度及壽命,工藝上需通過封裝技術(shù)來提供上述電子組件有關(guān)電能傳送(PowerDistribution)、信號(hào)傳送(SignalDistribution)、熱量散失(HeatDissipation),以及保護(hù)與支持(ProtectionandSupport)等功能。
半導(dǎo)體芯片在被封裝形成封裝體之后,根據(jù)使用情況的不同,該封裝體還要與其他電器元件連接或組裝。例如,在某些情況下,需要在封裝體表面形成圖形化的導(dǎo)電層,以便于后續(xù)的電鍍等工藝的進(jìn)行。現(xiàn)有的封裝體形成導(dǎo)電層的方式復(fù)雜,例如通過離子濺射工藝形成導(dǎo)電層,其會(huì)增加制作工藝,延長產(chǎn)品的生產(chǎn)時(shí)間,且不利于節(jié)約成本。
因此,亟需一種新型的塑封方法及采用該塑封方法制備的封裝體,克服上述封裝體的缺點(diǎn)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是,提供一種塑封方法及采用該塑封方法制備的封裝體,其能夠利用封裝工藝將一金屬薄片覆蓋在封裝體表面,沒有增加額外的步驟,節(jié)約了工藝流程,節(jié)約成本,且在塑封后直接有金屬薄片形成在封裝體表面,所述金屬薄片可起到電磁屏蔽的作用。
為了解決上述問題,本發(fā)明提供了一種塑封方法,包括如下步驟:提供一待封裝產(chǎn)品,所述待封裝產(chǎn)品包括一載體,在所述載體上設(shè)置有至少一個(gè)芯片,所述芯片與所述載體連接;提供一塑封模具,所述塑封模具具有一塑封槽,提供一治具,所述治具的形狀與所述塑封槽的形狀相同,且所述治具覆蓋所述塑封槽的內(nèi)壁,在所述治具內(nèi)表面形成一金屬薄片;在塑封模具側(cè)塑封料或者在待封裝產(chǎn)品具有芯片的一側(cè)放置塑封料,并將所述待封裝產(chǎn)品與所述塑封槽扣合,其中,所述待封裝產(chǎn)品具有芯片的表面朝向所述塑封槽內(nèi);塑封,所述塑封料形成塑封體,并包覆所述芯片,形成封裝體;移除所述塑封模具,所述治具隨所述塑封模具一同被移除,所述金屬薄片覆蓋在所述塑封體表面。
進(jìn)一步,所述治具為柔性可電鍍治具,所述金屬薄片通過電鍍的方法形成在所述治具內(nèi)表面。
進(jìn)一步,將所述治具放置入塑封槽后,在具有金屬薄片的治具內(nèi)放置塑封料,并將所述待封裝產(chǎn)品與所述塑封槽扣合。
進(jìn)一步,在具有金屬薄片的治具內(nèi)預(yù)先放置塑封料,將放置有塑封料的治具放入所述塑封槽內(nèi),并將所述待封裝產(chǎn)品與所述塑封槽扣合。
進(jìn)一步,在塑封步驟中,所述待封裝產(chǎn)品具有芯片的表面朝上,所述塑封模具的塑封槽扣在所述帶封裝產(chǎn)品上,或者所述塑封模具的塑封槽朝上,所述待封裝產(chǎn)品扣在所述塑封槽內(nèi)。
進(jìn)一步,所述金屬薄片的表面為粗糙表面。
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