[發明專利]一種橢圓偏振測厚儀

在審

• 申請號: 201711430850.5
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN108007367A
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 王傳龍
• 申請（專利權）人: 天津良益科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 天津市新天方有限責任專利代理事務所 12104
• 代理人: 李桂英

本發明提供一種橢圓偏振測厚儀，包括實驗底座，所述實驗底座上設有轉軸，所述轉軸的上端連接工作臺，所述工作臺上依次設有激光器、起偏器、樣品臺、檢偏器、光電探測器，所述激光器的前端設有準直鏡，所述起偏器的前端設有分束器，所述檢偏器的下方設有光電倍增管，所述實驗底座上設有開關和USB外接口。本發明的有益效果是光電倍增管有效增強微弱光信號轉化成電信號，使得光電探測器可以準確的讀取信號數據，避免數據讀取的誤差，另外，準直鏡校準光束的準直性，增強入射光束準確度；并且通過A/D轉化模塊可以快速的得出測得的模擬信號轉化為數字信號傳輸進行數據處理，得到準確的測量結果。

技術領域

本發明屬于光學測量設備技術領域，尤其是涉及一種橢圓偏振測厚儀。

背景技術

橢圓偏振測厚儀利用光的偏振特性，即，一束橢圓偏振的光在鍍膜的上下表面兩次反射，它的偏振狀態會轉過一定的角度，此轉過角度的具體與鍍膜和襯底的折射率，以及鍍膜厚度相關，由此特性可在已知襯底折射率的情況下得出所測量鍍膜的厚度即折射率。消光法橢圓偏振方式對應不同樣品制造出一束特定的橢圓偏振光使光束在樣品上反射后形成線偏振光，檢測此橢圓偏振光的長軸角度以及形成的線偏振光的偏振方向，根據這兩個角度及已知的襯底的折射率即可得出測量鍍膜的厚度及折射率。

目前，市面上出現的橢圓偏振測厚儀，裝置復雜不方便攜帶，并且在進行測量時會浪費大量的時間，測量的結果可靠性低，產生的實驗誤差較大。因此，亟需設計一種能夠解決上述技術問題的橢圓偏振測厚儀。

發明內容

本發明的目的是提供一種結構簡單、操作簡單、實驗時間短、實驗測量誤差小、的橢圓偏振測厚儀。

本發明的技術方案是：一種橢圓偏振測厚儀，包括實驗底座，所述實驗底座上設有轉軸，所述轉軸的上端連接工作臺，所述工作臺上依次設有激光器、起偏器、樣品臺、檢偏器、光電探測器，所述激光器的前端設有準直鏡，所述起偏器的前端設有分束器，所述檢偏器的下方設有光電倍增管，所述實驗底座上設有開關和USB外接口。

進一步，述激光器發出的光源設置在準直鏡的焦點處。

進一步，所述光電探測器內設有A/D轉化模塊。

進一步，所述激光器采用帶布儒斯特窗的氦氖激光器。

進一步，所述光電倍增管、光電探測器通過電線與實驗底座的USB外接口連接。

進一步，所述實驗底座的底部設有支撐腿。

本發明具有的優點和積極效果是：由于采用上述技術方案，光電倍增管有效增強微弱光信號轉化成電信號，使得光電探測器可以準確的讀取信號數據，避免數據讀取的誤差，另外，準直鏡校準光束的準直性，增強入射光束準確度；并且通過A/D轉化模塊可以快速的得出測得的模擬信號轉化為數字信號傳輸進行數據處理，得到準確的測量結果。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖。

圖中：

1、實驗底座 2、轉軸 3、工作臺

4、激光器 5、起偏器 6、樣品臺

7、檢偏器 8、光電探測器 9、準直鏡

10、分束器 11、光電倍增管 12、開關

13、USB外接口 14、支撐腿

具體實施方式

下面結合附圖對本發明做詳細說明。