[發明專利]一種橢圓偏振測厚儀在審
| 申請號： | 201711430850.5 | 申請日： | 2017-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN108007367A | 公開（公告）日： | 2018-05-08 |
| 發明（設計）人： | 王傳龍 | 申請（專利權）人： | 天津良益科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 天津市新天方有限責任專利代理事務所 12104 | 代理人： | 李桂英 |
| 地址： | 300350 天津市津南區濱海民*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 橢圓 偏振 測厚儀 | ||
【權利要求書】：
1.一種橢圓偏振測厚儀，其特征在于：包括實驗底座(1)，所述實驗底座(1)上設有轉軸(2)，所述轉軸(2)的上端連接工作臺(3)，所述工作臺(3)上依次設有激光器(4)、起偏器(5)、樣品臺(6)、檢偏器(7)、光電探測器(8)，所述激光器(4)的前端設有準直鏡(9)，所述起偏器(5)的前端設有分束器(10)，所述檢偏器(7)的下方設有光電倍增管(11)，所述實驗底座(1)上設有開關(12)和USB外接口(13)。
2.根據權利要求1所述的橢圓偏振測厚儀，其特征在于：所述激光器(4)發出的光源設置在準直鏡(9)的焦點處。
3.根據權利要求1所述的橢圓偏振測厚儀，其特征在于：所述光電探測器(8)內設有A/D轉化模塊。
4.根據權利要求1所述的橢圓偏振測厚儀，其特征在于：所述激光器(4)采用帶布儒斯特窗的氦氖激光器。
5.根據權利要求1所述的橢圓偏振測厚儀，其特征在于：所述光電倍增管(11)、光電探測器(8)通過電線與實驗底座(1)的USB外接口(13)連接。
6.根據權利要求1所述的橢圓偏振測厚儀，其特征在于：所述實驗底座(1)的底部設有支撐腿(14)。
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