[發(fā)明專利]一種抽樣檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711415466.8
• 申請(qǐng)日: 2017-12-22
• 公開（公告）號(hào): CN108054113B
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李磊;嚴(yán)詩(shī)佳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 董科

本分發(fā)明提供了一種抽樣檢測(cè)方法，應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品的制備中，其中，提供多個(gè)量測(cè)設(shè)備；提供多個(gè)批次的待測(cè)的半導(dǎo)體產(chǎn)品；包括以下步驟：根據(jù)預(yù)設(shè)的設(shè)備評(píng)估規(guī)則獲取關(guān)于總的量測(cè)設(shè)備的第一風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值；根據(jù)預(yù)設(shè)的產(chǎn)品評(píng)估規(guī)則獲取每一批次的關(guān)于半導(dǎo)體產(chǎn)品的第二風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值；將每個(gè)批次半導(dǎo)體產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的第二風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值與第一風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值進(jìn)行比較，以獲得比較結(jié)果；根據(jù)比較結(jié)果，僅將第二風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值高于第一風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值的批次的半導(dǎo)體產(chǎn)品作為檢測(cè)對(duì)象，第二風(fēng)險(xiǎn)值評(píng)估值低于第一風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值批次的半導(dǎo)體產(chǎn)品跳過量測(cè)設(shè)備，不進(jìn)量測(cè)設(shè)備檢測(cè)。其技術(shù)方案的有益效果在于，克服了現(xiàn)有技術(shù)中采用的固定抽樣方式并不能真實(shí)的反應(yīng)出產(chǎn)品的質(zhì)量的缺陷。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種抽樣檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體產(chǎn)品制備過程中，首先是獲取晶圓，然后在晶圓上經(jīng)過多個(gè)站點(diǎn)分別執(zhí)行多種制程形成半導(dǎo)體產(chǎn)品，其中每個(gè)站點(diǎn)上執(zhí)行的制程對(duì)產(chǎn)品最終的良率都會(huì)造成影響，因此對(duì)于經(jīng)過相關(guān)制程之后的半導(dǎo)體產(chǎn)品都是需要進(jìn)行相關(guān)的量測(cè)，根據(jù)量測(cè)結(jié)果判斷半導(dǎo)體產(chǎn)品是否在物理缺陷，進(jìn)而根據(jù)物理缺陷反饋出站點(diǎn)對(duì)應(yīng)的制程是否存在問題，針對(duì)存在問題的站點(diǎn)可針對(duì)性的改進(jìn)，以提高制備半導(dǎo)體產(chǎn)品的良率。

現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行量測(cè)時(shí)，每個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)品對(duì)應(yīng)一身份標(biāo)識(shí)碼(lotID),通過抽樣的方式，即隨機(jī)選擇lot ID的尾數(shù)，于每一批中選取出尾數(shù)相同的半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行量測(cè)，而這種抽樣的量測(cè)方式存在以下缺陷；隨機(jī)性太強(qiáng)，可能抽樣出的半導(dǎo)體產(chǎn)品都是良率較高的產(chǎn)品，并不能真實(shí)的反應(yīng)出產(chǎn)品的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中采取的抽樣檢測(cè)的方式對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行檢測(cè)存在的上述問題，現(xiàn)提供一種旨在評(píng)估出量測(cè)設(shè)備以及半導(dǎo)體產(chǎn)品的風(fēng)險(xiǎn)值，然后根據(jù)兩者風(fēng)險(xiǎn)值的比較結(jié)果，動(dòng)態(tài)選擇出半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行量測(cè)的抽樣檢測(cè)方法

具體技術(shù)方案如下：

一種抽樣檢測(cè)方法，應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品的制備中，其中，提供多個(gè)量測(cè)設(shè)備；提供多個(gè)批次的待測(cè)的半導(dǎo)體產(chǎn)品；

包括以下步驟：

步驟S1、根據(jù)預(yù)設(shè)的設(shè)備評(píng)估規(guī)則獲取關(guān)于總的所述量測(cè)設(shè)備的第一風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值；

步驟S2、根據(jù)預(yù)設(shè)的產(chǎn)品評(píng)估規(guī)則獲取每一批次的關(guān)于所述半導(dǎo)體產(chǎn)品的第二風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值；

步驟S3、將每個(gè)批次所述半導(dǎo)體產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的所述第二風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值與所述第一風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值進(jìn)行比較，以獲得比較結(jié)果；

步驟S4、根據(jù)所述比較結(jié)果，僅將所述第二風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值高于所述第一風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值的批次的所述半導(dǎo)體產(chǎn)品作為檢測(cè)對(duì)象，所述第二風(fēng)險(xiǎn)值評(píng)估值低于第一風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值批次的半導(dǎo)體產(chǎn)品跳所述過量測(cè)設(shè)備，不進(jìn)所述量測(cè)設(shè)備檢測(cè)。

優(yōu)選的，根據(jù)所述設(shè)備評(píng)估規(guī)則獲取所述第一風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值的方法如下：

S＝50t(t＝2)

其中，t＝N/(A*(S1+S2+……+Sn))

t表示自變量；

S表示第一風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估值；

n表示量測(cè)設(shè)備組包含的量測(cè)設(shè)備數(shù)；

S1…Sn表示量測(cè)設(shè)備對(duì)應(yīng)的狀態(tài)值；

A表示量測(cè)設(shè)備組的量測(cè)能力值；

N表示當(dāng)前等待的半導(dǎo)體產(chǎn)品批數(shù)。

優(yōu)選的，每個(gè)所述量測(cè)設(shè)備的狀態(tài)包括兩種狀態(tài)：

所述狀態(tài)值為1，表示當(dāng)前的所述量測(cè)設(shè)備為可用狀態(tài)；

所述狀態(tài)值為0，表示當(dāng)前的所述量測(cè)設(shè)備為不可用狀態(tài)。