[發(fā)明專利]一種抽樣檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711415466.8
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN108054113B
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李磊;嚴(yán)詩佳
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 董科

1.一種抽樣檢測方法，應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品的制備中，其特征在于，提供多個量測設(shè)備；提供多個批次的待測的半導(dǎo)體產(chǎn)品；

包括以下步驟：

步驟S1、根據(jù)預(yù)設(shè)的設(shè)備評估規(guī)則獲取關(guān)于總的所述量測設(shè)備的第一風(fēng)險評估值；

步驟S2、根據(jù)預(yù)設(shè)的產(chǎn)品評估規(guī)則獲取每一批次的關(guān)于所述半導(dǎo)體產(chǎn)品的第二風(fēng)險評估值；

步驟S3、將每個批次的所述半導(dǎo)體產(chǎn)品對應(yīng)的所述第二風(fēng)險評估值與所述第一風(fēng)險評估值進行比較，以獲得比較結(jié)果；

步驟S4、根據(jù)所述比較結(jié)果，僅將所述第二風(fēng)險評估值高于所述第一風(fēng)險評估值的批次的所述半導(dǎo)體產(chǎn)品作為檢測對象，所述第二風(fēng)險評估值低于第一風(fēng)險評估值批次的半導(dǎo)體產(chǎn)品跳過所述量測設(shè)備，不進行所述量測設(shè)備檢測；

根據(jù)所述設(shè)備評估規(guī)則獲取所述第一風(fēng)險評估值的方法如下：

S＝50t(t＝2)

其中，t＝N/(A*(S1+S2+……+Sn))

t表示自變量；

S表示第一風(fēng)險評估值；

n表示量測設(shè)備組包含的量測設(shè)備數(shù)；

S1…Sn表示量測設(shè)備對應(yīng)的狀態(tài)值；

A表示量測設(shè)備組的量測能力值；

N表示當(dāng)前等待的半導(dǎo)體產(chǎn)品批數(shù)；

根據(jù)所述半導(dǎo)體產(chǎn)品的所述產(chǎn)品評估規(guī)則獲取每一批次的關(guān)于所述半導(dǎo)體產(chǎn)品的所述第二風(fēng)險評估值的方法如下：

其中，L表示所述第二風(fēng)險評估值；R_i表示產(chǎn)品評估規(guī)則項的分值；W_i表示所述產(chǎn)品評估規(guī)則項對應(yīng)的權(quán)重，i表示產(chǎn)品評估規(guī)則項；

所述半導(dǎo)體產(chǎn)品經(jīng)過多個站點完成其站點對應(yīng)的制程之后，形成待測的所述半導(dǎo)體產(chǎn)品；

所述產(chǎn)品評估規(guī)則項包括：

每個所述站點定義的超控率；

每個所述站點定期維護后的風(fēng)險產(chǎn)品；

每個關(guān)鍵所述站點的產(chǎn)品間隔預(yù)定時間之后必須量測的半導(dǎo)體產(chǎn)品；

當(dāng)前的制程距離上一次量測的時間間隔；

當(dāng)前的制程在預(yù)定時間段內(nèi)的物理缺陷率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽樣檢測方法，其特征在于，每個所述量測設(shè)備的狀態(tài)包括兩種狀態(tài)：

所述狀態(tài)值為1，表示當(dāng)前的所述量測設(shè)備為可用狀態(tài)；

所述狀態(tài)值為0，表示當(dāng)前的所述量測設(shè)備為不可用狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽樣檢測方法，其特征在于，所述量測設(shè)備的所述量測能力值為所述量測設(shè)備每小時可量測通過所述半導(dǎo)體產(chǎn)品的數(shù)量的能力。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽樣檢測方法，其特征在于，所述量測設(shè)備用以量測所述半導(dǎo)體產(chǎn)品存在的物理缺陷，以根據(jù)所述物理缺陷判斷執(zhí)行過的所述制程是否合格。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽樣檢測方法，其特征在于，所述量測設(shè)備采用動態(tài)監(jiān)控方式判斷對每一批次中的每個所述半導(dǎo)體產(chǎn)品的所述第二風(fēng)險評估值是否大于所述第一風(fēng)險評估值；

若是，所述量測設(shè)備對當(dāng)前的所述半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行量測以獲得量測結(jié)果；

若否，則對當(dāng)前的所述半導(dǎo)體產(chǎn)品跳過量測。