[發明專利]一種真空泵測試系統及測試方法

有效

• 申請號: 201711410851.3
• 申請日: 2017-12-23
• 公開（公告）號: CN108194343B
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 劉坤;遲小宇;雷震霖;于明鶴;畢德龍;張軍;郭麗娟;劉永源;杜廣煜;巴德純
• 申請（專利權）人: 東北大學;中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 韓國勝

本發明涉及一種真空泵測試系統及測試方法。真空泵測試系統包括分別用于與待測泵室的吸氣口和排氣口連通的第一和第二真空室、分別測量第一和第二真空室的壓力的第一和第二測壓系統、為第一和第二真空室供氣的供氣設備、分別從第一和第二真空室抽氣的第一和第二抽氣設備、測量和控制第一真空室氣體流量的氣體流量測控設備、分別控制第一和第二真空室的溫度的第一和第二控溫設備。真空泵測試方法應用該真空泵測試系統。上述真空泵測試系統和測試方法可提供壓力、流量和溫度可控的測試環境，可以模擬不同情況下真空泵的抽氣狀態，且可用于不同種類的真空泵的抽氣性能測試。

技術領域

本發明涉及一種真空泵測試系統及測試方法。

背景技術

真空泵，尤其是干式真空泵，在設計生產過程中，需要基于真空泵的壓力、流量和溫度的變化對真空泵進行測試。但現有的測量方式基本僅能夠對流量進行調節，不能通過控制溫度、壓力和流量來對不同情況下不同種類的真空泵的抽氣性能進行測試。

發明內容

(一)要解決的技術問題

本發明的目的在于提供一種可以模擬不同情況下真空泵的抽氣狀態，且可用于不同種類的真空泵的抽氣性能測試的真空泵測試系統及測試方法。

(二)技術方案

為了達到上述目的，本發明采用的主要技術方案包括：

本發明提供一種真空泵測試系統，包括第一真空室、第二真空室、第一測壓系統、第二測壓系統、供氣設備、第一抽氣設備、第二抽氣設備、氣體流量測控設備、第一控溫設備和第二控溫設備；其中，第一真空室用于與待測泵室的吸氣口連通；第二真空室用于與待測泵室的排氣口連通；供氣設備分別與第一真空室和第二真空室可選擇地連通，以可選擇地為二者供氣；第一測壓系統和第二測壓系統分別測量第一真空室和第二真空室的內部壓力；第一抽氣設備和第二抽氣設備分別與第一真空室和第二真空室可選擇的連通以分別可選擇地從二者中抽氣；氣體流量測控設備對第一真空室的氣體流量進行測量和控制；第一控溫設備和第二控溫設備分別控制第一真空室和第二真空室的溫度。

根據本發明，第一抽氣設備包括串聯的第一預抽泵和第一主泵，第一預抽泵和第一主泵分別與第一真空室可選擇的連通，第一預抽泵位于第一主泵的下游并與其可選擇的連通；和/或第二抽氣設備包括串聯的第二預抽泵和第二主泵，第二預抽泵和第二主泵分別與第二真空室可選擇的連通，第二預抽泵位于第二主泵的下游并與其可選擇的連通。

根據本發明，氣體流量測控設備包括壓力恒定的平衡室、第一流量調節閥和流量計；其中，平衡室連接在供氣設備和第一真空室之間，用來保證供氣設備的出氣流量與第一真空室的氣體流量相等；第一流量調節閥連接在平衡室和第一真空室之間，用來調節第一真空室的氣體流量；以及流量計位于連接在供氣設備和平衡室之間的氣路上或者位于連接在平衡室與第一真空室之間的氣路上，以通過測量供氣設備的出氣流量獲得第一真空室的氣體流量。

根據本發明，在供氣設備和平衡室之間或者平衡室與第一真空室之間連接有多個并聯的可選擇地通斷的送氣支路，每個送氣支路上設有流量計，所有送氣支路上的流量計的量程大小不同；氣體流量測控設備還包括流量傳感器，流量傳感器設于供氣設備的下游以實時檢測供氣設備的出氣流量；真空泵測試系統還包括中控器，中控器根據流量傳感器的測量值控制相應量程的流量計所在的送氣支路連通，同時保持其他送氣支路斷開，并且連通的送氣支路中的流量計的測量值作為供氣設備的出氣流量以用于獲得第一真空室的氣體流量。

根據本發明，流量計為質量流量計或體積流量計；第一控溫設備包括測量第一真空室的溫度的第一測溫計和測量平衡室中壓力的大氣壓力計；氣體流量測控設備還包括測量平衡室的溫度的溫度計測量平衡室中壓力的大氣壓力計；中控器在相應量程的流量計為體積流量計且第一測溫計和溫度計的測量值不同且第一測壓系統的測量值和所述大氣壓力計的測量值時，對該流量計的測量值進行溫度及壓力補償后作為第一真空室的氣體流量；；中控器在相應量程的流量計為質量流量計時，將該流量計的測量值直接作為第一真空室的氣體流量。