[發明專利]一種真空泵測試系統及測試方法

有效

• 申請號: 201711410851.3
• 申請日: 2017-12-23
• 公開（公告）號: CN108194343B
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 劉坤;遲小宇;雷震霖;于明鶴;畢德龍;張軍;郭麗娟;劉永源;杜廣煜;巴德純
• 申請（專利權）人: 東北大學;中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 韓國勝

1.一種真空泵測試系統，其特征在于，包括第一真空室(3)、第二真空室(1)、第一測壓系統(4)、第二測壓系統(2)、供氣設備(16)、第一抽氣設備(18)、第二抽氣設備(28)、氣體流量測控設備(5)、第一控溫設備和第二控溫設備；其中，

所述第一真空室(3)用于與待測泵室(26)的吸氣口連通；

所述第二真空室(1)用于與待測泵室(26)的排氣口連通；

所述供氣設備(16)分別與所述第一真空室(3)和所述第二真空室(1)可選擇地連通，以可選擇地為二者供氣；

所述第一測壓系統(4)和所述第二測壓系統(2)分別測量所述第一真空室(3)和所述第二真空室(1)的內部壓力；

所述第一抽氣設備(18)和所述第二抽氣設備(28)分別與所述第一真空室(3)和所述第二真空室(1)可選擇的連通以分別可選擇地從二者中抽氣；

所述氣體流量測控設備(5)對所述第一真空室(3)的氣體流量進行測量和控制；

所述第一控溫設備和所述第二控溫設備分別控制所述第一真空室(3)和所述第二真空室(1)的溫度。

2.根據權利要求1所述的真空泵測試系統，其特征在于，

所述第一抽氣設備(18)包括串聯的第一預抽泵(22)和第一主泵(20)，所述第一預抽泵(22)和所述第一主泵(20)分別與第一真空室(3)可選擇的連通，所述第一預抽泵(22)位于所述第一主泵(20)的下游并與其可選擇的連通；和/或

所述第二抽氣設備(28)包括串聯的第二預抽泵(29)和第二主泵(31)，所述第二預抽泵(29)和所述第二主泵(31)分別與第二真空室(1)可選擇的連通，所述第二預抽泵(29)位于所述第二主泵(31)的下游并與其可選擇的連通。

3.根據權利要求1所述的真空泵測試系統，其特征在于，

所述氣體流量測控設備(5)包括壓力恒定的平衡室(9)、第一流量調節閥(6)和流量計(10)；其中，

所述平衡室(9)連接在所述供氣設備(16)和所述第一真空室(3)之間，用來保證所述供氣設備(16)的出氣流量與所述第一真空室(3)的氣體流量相等；

所述第一流量調節閥(6)連接在所述平衡室(9)和所述第一真空室(3)之間，用來調節所述第一真空室(3)的氣體流量；以及

所述流量計(10)位于連接在所述供氣設備(16)和所述平衡室(9)之間的氣路上或者位于連接在所述平衡室(9)與所述第一真空室(3)之間的氣路上，以通過測量所述供氣設備(16)的出氣流量獲得所述第一真空室(3)的氣體流量。

4.根據權利要求3所述的真空泵測試系統，其特征在于，

在所述供氣設備(16)和所述平衡室(9)之間或者所述平衡室(9)與所述第一真空室(3)之間連接有多個并聯的可選擇地通斷的送氣支路(11)，每個所述送氣支路(11)上設有所述流量計(10)，所有所述送氣支路(11)上的流量計(10)的量程大小不同；

所述氣體流量測控設備(5)還包括流量傳感器(14)，所述流量傳感器(14)設于所述供氣設備(16)的下游以實時檢測所述供氣設備(16)的出氣流量；

所述真空泵測試系統還包括中控器，所述中控器根據所述流量傳感器(14)的測量值控制相應量程的流量計(10)所在的送氣支路(11)連通，同時保持其他送氣支路(11)斷開，并且連通的送氣支路(11)中的流量計(10)的測量值作為所述供氣設備(16)的出氣流量以用于獲得所述第一真空室(3)的氣體流量。