[發(fā)明專利]一種集成電路板的綠色制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711410355.8 | 申請日: | 2017-12-23 |
| 公開(公告)號: | CN108083498A | 公開(公告)日: | 2018-05-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 樊超 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州賽源微電子有限公司 |
| 主分類號: | C02F9/04 | 分類號: | C02F9/04 |
| 代理公司: | 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 韓飛 |
| 地址: | 215011 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 清洗液 廢水 集成電路板 綠色制備 吸附柱 集成電路芯片制造 微生物絮凝劑 回用水處理 超濾處理 廢水收集 化學(xué)試劑 綠色生產(chǎn) 統(tǒng)一處理 重金屬 回用 去除 微濾 消耗 排放 污染 | ||
1.一種集成電路板的綠色制備方法,其特征在于,將集成電路板各工序產(chǎn)生的清洗液廢水收集匯總后進行統(tǒng)一處理,所述清洗液廢水的處理包括如下步驟:
步驟1:向所述清洗液廢水中添加15~30mg/L的微生物絮凝劑,攪拌20min后靜置30~100min;
步驟2:步驟1處理后的清洗液廢水依次進出入串聯(lián)連接的第一吸附柱和第二吸附柱;
步驟3:對步驟1處理后的清洗液廢水依次進行微濾和超濾處理后,進入回用水處理系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的集成電路板的綠色制備方法,其特征在于,所述微生物為諾卡氏菌。
3.如權(quán)利要求1所述的集成電路板的綠色制備方法,其特征在于,所述第一吸附柱為坡縷石吸附柱。
4.如權(quán)利要求1所述的集成電路板的綠色制備方法,其特征在于,所述第二吸附柱為活性炭吸附柱。
5.如權(quán)利要求3所述的集成電路板的綠色制備方法,其特征在于,所述坡縷石的粒徑為0.3~1.5mm。
6.如權(quán)利要求3所述的集成電路板的綠色制備方法,其特征在于,所述坡縷石的孔徑為10~20nm。
7.如權(quán)利要求1所述的集成電路板的綠色制備方法,其特征在于,將所述超濾膜對分子量為1000~5000的物質(zhì)進行截留。
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