[發明專利]電池片翻片裝置在審
| 申請號: | 201711404936.0 | 申請日: | 2017-12-22 |
| 公開(公告)號: | CN107946220A | 公開(公告)日: | 2018-04-20 |
| 發明(設計)人: | 楊斌 | 申請(專利權)人: | 君泰創新(北京)科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京維澳專利代理有限公司11252 | 代理人: | 周放,張春雨 |
| 地址: | 100176 北京市大興區北京經*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電池 片翻片 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及太陽能電池技術領域,尤其涉及一種電池片翻片裝置。
背景技術
對于異質結太陽能電池硅片的鍍膜工藝,通常會用到PVD、CVD等真空鍍膜設備,在對硅片進行雙面鍍膜過程中,需要硅片在鍍膜設備中完成單面鍍膜后,進行一次硅片翻轉,然后再次進入鍍膜設備進行另外一面鍍膜。
在現有技術中,硅片通過人工或自動裝載的方式敷設在載板上,載板通過自動傳輸機構通過上料臺傳入工藝腔室,以進行硅片的正面鍍膜,正面鍍膜完成后從工藝腔室傳輸到下料臺;在下料臺進行人工手動翻片,或者使硅片經過自動下料臺收集至硅片料盒,待硅片料盒中所有硅片均完成正面鍍膜后,再將硅片料盒翻轉,以實現硅片料盒中所有硅片翻轉到背面,然后通過人工或自動裝載機構將硅片敷設到載板上,并重新傳輸至工藝腔室中,以進行硅片的反面鍍膜;在硅片反面鍍膜完成后,可以經過通過人工或自動卸載機構完成硅片的卸載,從而完成硅片的雙面鍍膜。
然而,現有技術中人工翻片的方式會導致工作效率低,誤操作率高,同時伴隨著生產節拍降低以及硅片破損率高等問題;如果采用自動卸載的方式,比如使用多關節機械手等裝置對硅片先進行卸載,整體翻片后,再進行裝載,這樣會導致操作流程復雜,整個工藝流程需要進行兩次硅片裝、卸載,降低工作效率,延遲生產流程節拍,同時也存在硅片破損率變高的問題。
發明內容
本發明的目的是提供一種電池片翻片裝置,以解決上述現有技術中的問題,簡化翻片工藝,提高生產效率,降低硅片破損率。
本發明提供了一種電池片翻片裝置,其中,包括:
翻片機構,所述翻片機構包括滑動設置的第一龍門架,所述第一龍門架用于翻轉硅片;
裝載機構,所述裝載機構包括滑動設置的第二龍門架,所述第二龍門架用于將翻轉后的所述硅片敷設到載板上。
如上所述的電池片翻片裝置,其中,優選的是,所述第一龍門架包括第一支撐梁、傳動臂和第一拾取機構,所述傳動臂與所述第一支撐梁轉動連接,所述第一拾取機構與所述傳動臂轉動連接。
如上所述的電池片翻片裝置,其中,優選的是,所如上所述的電池片翻片裝置,其中,優選的是,端與所述傳動臂轉動連接,所述第一升降裝置的另一端與所述第一吸盤相連。
如上所述的電池片翻片裝置,其中,優選的是,所述第一升降裝置為第一升降氣缸,所述第一升降氣缸的缸體與所述傳動臂轉動連接,所述第一升降氣缸的活塞桿與所述第一吸盤相連。
如上所述的電池片翻片裝置,其中,優選的是,所述第一龍門架還包括連接梁,所述連接梁與所述第一升降氣缸的活塞桿固定連接;
所述第一吸盤的數量有多組,多組所述第一吸盤均勻分布在所述連接梁上。
如上所述的電池片翻片裝置,其中,優選的是,所述翻片機構還包括對稱設置在所述第一龍門架兩側的第一滑軌,所述第一龍門架與所述第一滑軌滑動連接。
如上所述的電池片翻片裝置,其中,優選的是,所述第二龍門架包括第二支撐梁、第二升降裝置和第二拾取機構,所述第二升降裝置固定設置在所述第二支撐梁上,所述第二拾取機構與所述第二升降裝置滑動連接。
如上所述的電池片翻片裝置,其中,優選的是,所述第二拾取機構包括連接支架和第二吸盤,所述連接支架的一端與所述第二升降裝置相連,所述連接支架的另一端與所述第二吸盤相連。
如上所述的電池片翻片裝置,其中,優選的是,所述第二升降裝置包括伺服電機、絲杠和限位支架,所述伺服電機的輸出軸與所述絲杠固定連接;
所述限位支架固定于所述第二支撐梁固定連接,所述限位支架中設置有空心腔體,所述絲杠伸入到所述空心腔體中,所述限位支架的側壁上設置有與所述連接支架滑動連接的限位槽;
所述連接支架的一端設置有與所述絲杠配合的螺紋孔。
如上所述的電池片翻片裝置,其中,優選的是,所述裝載機構還包括對稱設置在所述第二龍門架兩側的第二滑軌,所述第二龍門架與所述第二滑軌滑動連接。
本發明提供的電池片翻片裝置,通過第一龍門架和第二龍門架的配合,實現了硅片翻片和敷設的自動化,解決了現有技術中需要通過人工翻片或人工敷設而影響生產效率的問題,同時實現了硅片在載板上的及時翻片和敷設,無需將硅片收集到硅片料盒中后再進行整體翻片,由此有效簡化了翻片工藝,提高了生產節拍。
附圖說明
下面結合附圖對本發明的具體實施方式作進一步詳細的說明。
圖1為本發明實施例提供的電池片翻片裝置的俯視圖;
圖2為第一龍門架的主視圖;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





