[發明專利]電池片翻片裝置在審
| 申請號: | 201711404936.0 | 申請日: | 2017-12-22 |
| 公開(公告)號: | CN107946220A | 公開(公告)日: | 2018-04-20 |
| 發明(設計)人: | 楊斌 | 申請(專利權)人: | 君泰創新(北京)科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京維澳專利代理有限公司11252 | 代理人: | 周放,張春雨 |
| 地址: | 100176 北京市大興區北京經*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電池 片翻片 裝置 | ||
1.一種電池片翻片裝置,其特征在于,包括:
翻片機構,所述翻片機構包括滑動設置的第一龍門架,所述第一龍門架用于翻轉硅片;
裝載機構,所述裝載機構包括滑動設置的第二龍門架,所述第二龍門架用于將翻轉后的所述硅片敷設到載板上。
2.根據權利要求1所述的電池片翻片裝置,其特征在于,所述第一龍門架包括第一支撐梁、傳動臂和第一拾取機構,所述傳動臂與所述第一支撐梁轉動連接,所述第一拾取機構與所述傳動臂轉動連接。
3.根據權利要求2所述的電池片翻片裝置,其特征在于,所述第一拾取機構包括第一升降裝置和第一吸盤,所述第一升降裝置的一端與所述傳動臂轉動連接,所述第一升降裝置的另一端與所述第一吸盤相連。
4.根據權利要求3所述的電池片翻片裝置,其特征在于,所述第一升降裝置為第一升降氣缸,所述第一升降氣缸的缸體與所述傳動臂轉動連接,所述第一升降氣缸的活塞桿與所述第一吸盤相連。
5.根據權利要求4所述的電池片翻片裝置,其特征在于,所述第一龍門架還包括連接梁,所述連接梁與所述第一升降氣缸的活塞桿固定連接;
所述第一吸盤的數量有多組,多組所述第一吸盤均勻分布在所述連接梁上。
6.根據權利要求1-5任一項所述的電池片翻片裝置,其特征在于,所述翻片機構還包括對稱設置在所述第一龍門架兩側的第一滑軌,所述第一龍門架與所述第一滑軌滑動連接。
7.根據權利要求1所述的電池片翻片裝置,其特征在于,所述第二龍門架包括第二支撐梁、第二升降裝置和第二拾取機構,所述第二升降裝置固定設置在所述第二支撐梁上,所述第二拾取機構與所述第二升降裝置滑動連接。
8.根據權利要求7所述的電池片翻片裝置,其特征在于,所述第二拾取機構包括連接支架和第二吸盤,所述連接支架的一端與所述第二升降裝置相連,所述連接支架的另一端與所述第二吸盤相連。
9.根據權利要求8所述的電池片翻片裝置,其特征在于,所述第二升降裝置包括伺服電機、絲杠和限位支架,所述伺服電機的輸出軸與所述絲杠固定連接;
所述限位支架固定于所述第二支撐梁固定連接,所述限位支架中設置有空心腔體,所述絲杠伸入到所述空心腔體中,所述限位支架的側壁上設置有與所述連接支架滑動連接的限位槽;
所述連接支架的一端設置有與所述絲杠配合的螺紋孔。
10.根據權利要求7-9任一項所述的電池片翻片裝置,其特征在于,所述裝載機構還包括對稱設置在所述第二龍門架兩側的第二滑軌,所述第二龍門架與所述第二滑軌滑動連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





