[發(fā)明專利]管式PERC雙面太陽電池及其制備方法和專用電鍍設(shè)備

在審

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• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN108074997A
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林綱正;方結(jié)彬;陳剛
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東愛旭科技股份有限公司;浙江愛旭太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/18;C25D5/06;C25D7/12
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 胡楓

本發(fā)明公開了一種管式PERC雙面太陽電池，包括背銀主柵、背鋁柵線、背面復(fù)合膜、P型硅、N型發(fā)射極、正面鈍化膜和正電極，所述正電極采用電鍍設(shè)備制備而得，管式PERC雙面太陽電池的正面朝下且與電鍍槽的電鍍液接觸，所述LED燈照射管式PERC雙面太陽電池的背面；所述電鍍槽內(nèi)設(shè)有陽極板和電刷，所述電源的正極與陽極板連接，電源的負(fù)極與電刷連接，電刷與管式PERC雙面太陽電池背面的背銀主柵連接。相應(yīng)的，本發(fā)明還公開了一種管式PERC雙面太陽電池的制備方法及專用電鍍設(shè)備。采用本發(fā)明，增加電池背面電極的導(dǎo)電均勻性，提高正面電鍍電極的均勻性，且保持電池的外觀良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽電池領(lǐng)域，尤其涉及一種管式PERC雙面太陽電池、管式PERC雙面太陽電池的正電極的制備方法、以及管式PERC雙面太陽電池的制備方法和專用電鍍設(shè)備。

背景技術(shù)

晶硅太陽電池是一種有效吸收太陽輻射能，利用光生伏打效應(yīng)把光能轉(zhuǎn)換成電能的器件，當(dāng)太陽光照在半導(dǎo)體P-N結(jié)上，形成新的空穴-電子對，在P-N結(jié)電場的作用下，空穴由N區(qū)流向P區(qū)，電子由P區(qū)流向N區(qū)，接通電路后就形成電流。

傳統(tǒng)晶硅太陽電池基本上只采用正面鈍化技術(shù)，在硅片正面用PECVD的方式沉積一層氮化硅，降低少子在前表面的復(fù)合速率，可以大幅度提升晶硅電池的開路電壓和短路電流，從而提升晶硅太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

隨著對晶硅電池的光電轉(zhuǎn)換效率的要求越來越高，人們開始研究背鈍化太陽電池技術(shù)。目前主流的做法是采用板式PECVD來對背面鍍膜，板式PECVD由不同的腔室組成，每個腔室鍍一層膜，一旦設(shè)備固定，復(fù)合膜的層數(shù)就已經(jīng)固定，因此板式PECVD的缺點是不能靈活調(diào)節(jié)復(fù)合膜的組合，不能更好的優(yōu)化背面膜的鈍化效果，從而限制電池的光電轉(zhuǎn)換效率。同時，板式PECVD使用的是間接等離子法，膜層的鈍化效果不太理想。板式PECVD還具有uptime低，維護(hù)時間長的缺點，影響產(chǎn)能和產(chǎn)量。

本發(fā)明采用管式PECVD技術(shù)在硅片背面沉積復(fù)合膜，制作雙面PERC高效太陽電池。由于管式PECVD技術(shù)采用的是直接等離子法，又可以靈活調(diào)節(jié)復(fù)合膜的組合和成分，膜層的鈍化效果好，能大幅提升PERC太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率。管式PECVD技術(shù)的優(yōu)秀鈍化性能和工藝的靈活性還可以相對降低三氧化二鋁膜層的厚度，減少TMA的耗量，同時，管式PERC技術(shù)容易維護(hù)，uptime高。綜合以上多種因素，與板式PECVD技術(shù)相比，管式PECVD技術(shù)制作高效PERC電池有顯著的綜合成本優(yōu)勢。

業(yè)內(nèi)一般是采用絲網(wǎng)印刷銀漿料技術(shù)制造雙面太陽能電池的正電極，銀漿料耗量大，成本高，銀電極的線寬也比較大，遮光面積大，電極的導(dǎo)電均勻性差，影響電池的光電轉(zhuǎn)換效率。此外，管式PECVD技術(shù)由于存在繞鍍和劃傷這一對互相制約的難題，外觀良率和EL良率一直比較低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種管式PERC雙面太陽電池，增加電池背面電極的導(dǎo)電均勻性，提高正面電鍍電極的均勻性，且保持電池的外觀良率。

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還在于，提供一種上述管式PERC雙面太陽電池的正電極的制備方法以及上述管式PERC雙面太陽電池的制備方法，工藝簡單，可大規(guī)模量產(chǎn)，與目前生產(chǎn)線兼容性好。

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還在于，提供一種上述管式PERC雙面太陽電池的專用電鍍設(shè)備，設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，成本較低，產(chǎn)量大，成品率高。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種管式PERC雙面太陽電池，包括背銀主柵、背鋁柵線、背面復(fù)合膜、P型硅、N型發(fā)射極、正面鈍化膜和正電極；所述背面復(fù)合膜、P型硅、N型發(fā)射極、正面鈍化膜和正電極從下至上依次層疊連接；

所述背面復(fù)合膜包括三氧化二鋁膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜中的一種或多種，且采用管式PECVD設(shè)備在硅片背面沉積而成；