[發(fā)明專利]管式PERC雙面太陽(yáng)電池及其制備方法和專用電鍍?cè)O(shè)備在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711404333.0 | 申請(qǐng)日： | 2017-12-22 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN108074997A | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-05-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 林綱正;方結(jié)彬;陳剛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 廣東愛(ài)旭科技股份有限公司;浙江愛(ài)旭太陽(yáng)能科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L31/0224 | 分類號(hào)： | H01L31/0224;H01L31/18;C25D5/06;C25D7/12 |
| 代理公司： | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人： | 胡楓 |
| 地址： | 528000 廣東省*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 雙面太陽(yáng)電池 管式 電鍍?cè)O(shè)備 電刷 制備 電鍍槽 均勻性 陽(yáng)極板 正電極 種管 主柵 背面 電源 正極 電池背面 電鍍電極 負(fù)極 電鍍液 鈍化膜 復(fù)合膜 電極 導(dǎo)電 良率 鋁柵 照射 電池 | ||
1.一種管式PERC雙面太陽(yáng)電池，其特征在于，包括背銀主柵、背鋁柵線、背面復(fù)合膜、P型硅、N型發(fā)射極、正面鈍化膜和正電極；所述背面復(fù)合膜、P型硅、N型發(fā)射極、正面鈍化膜和正電極從下至上依次層疊連接；
所述背面復(fù)合膜包括三氧化二鋁膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜中的一種或多種，且采用管式PECVD設(shè)備在硅片背面沉積而成；
所述背面復(fù)合膜再經(jīng)過(guò)激光開(kāi)槽后形成30-500個(gè)平行設(shè)置的激光開(kāi)槽區(qū)，每個(gè)激光開(kāi)槽區(qū)內(nèi)設(shè)置至少1組激光開(kāi)槽單元，所述背鋁柵線通過(guò)激光開(kāi)槽區(qū)與P型硅相連，所述背鋁柵線與背銀主柵垂直連接；
所述正電極采用電鍍?cè)O(shè)備制備而得，所述電鍍?cè)O(shè)備包括電鍍槽、LED燈和電源，管式PERC雙面太陽(yáng)電池的正面朝下且與電鍍槽的電鍍液接觸，管式PERC雙面太陽(yáng)電池的背面朝上且不與電鍍槽的電鍍液接觸，所述LED燈照射管式PERC雙面太陽(yáng)電池的背面；
所述電鍍槽內(nèi)設(shè)有陽(yáng)極板和電刷，所述電源的正極與陽(yáng)極板連接，電源的負(fù)極與電刷連接，電刷與管式PERC雙面太陽(yáng)電池背面的背銀主柵連接。
2.如權(quán)利要求1所述管式PERC雙面太陽(yáng)電池，其特征在于，所述電刷上設(shè)有凹槽，所述凹槽包裹所述背銀主柵，所述電刷的材質(zhì)為石墨。
3.如權(quán)利要求1所述管式PERC雙面太陽(yáng)電池，其特征在于，所述LED燈產(chǎn)生LED綠光。
4.如權(quán)利要求3所述管式PERC雙面太陽(yáng)電池，其特征在于，所述LED燈照射背銀主柵、背鋁柵線和背面復(fù)合膜。
5.一種管式PERC雙面太陽(yáng)電池的正電極的制備方法，其特征在于，包括：
(1)將管式PERC雙面太陽(yáng)電池半成品置于電鍍?cè)O(shè)備中，正面朝下，背面朝上，LED燈照射管式PERC雙面太陽(yáng)電池半成品的背面，并使得電池背面的背銀主柵與電鍍?cè)O(shè)備的電刷相連接；
(2)管式PERC雙面太陽(yáng)電池半成品的正面與電鍍槽的電鍍液接觸，形成正電極，而管式PERC雙面太陽(yáng)電池半成品的背面不與電鍍槽的電鍍液接觸。
6.如權(quán)利要求5所述管式PERC雙面太陽(yáng)電池的正電極的制備方法，其特征在于，所述電刷上設(shè)有凹槽，所述凹槽包裹所述背銀主柵，所述電刷的材質(zhì)為石墨。
7.一種管式PERC雙面太陽(yáng)電池的制備方法，其特征在于，包括：
(1)在硅片正面形成絨面，所述硅片為P型硅；
(2)在硅片正面進(jìn)行擴(kuò)散，形成N型發(fā)射極；
(3)去除擴(kuò)散過(guò)程形成的磷硅玻璃和周邊PN結(jié)，并對(duì)硅片背面進(jìn)行拋光；
(4)對(duì)硅片進(jìn)行退火；
(5)采用管式PECVD設(shè)備在硅片背面沉積背面復(fù)合膜：
(6)在硅片正面沉積鈍化膜；
(7)對(duì)硅片背面復(fù)合膜上進(jìn)行激光開(kāi)槽；
(8)對(duì)硅片正面鈍化膜上進(jìn)行激光開(kāi)槽；
(9)在硅片背面印刷背銀主柵；
(10)在激光開(kāi)槽區(qū)上印刷鋁漿，使之與背銀主柵連接；
(11)對(duì)背面印刷電極進(jìn)行燒結(jié)，得到管式PERC雙面太陽(yáng)電池半成品；
(12)將管式PERC雙面太陽(yáng)電池半成品置于電鍍?cè)O(shè)備中，正面朝下，背面朝上，LED燈照射管式PERC雙面太陽(yáng)電池半成品的背面，并使得電池背面的背銀主柵與電鍍?cè)O(shè)備的電刷相連接，管式PERC雙面太陽(yáng)電池半成品的正面與電鍍槽的電鍍液接觸，形成正電極，而管式PERC雙面太陽(yáng)電池半成品的背面不與電鍍槽的電鍍液接觸；
(13)對(duì)硅片進(jìn)行抗LID退火，制得管式PERC雙面太陽(yáng)電池成品。
8.一種管式PERC雙面太陽(yáng)電池的專用電鍍?cè)O(shè)備，其特征在于，包括水平設(shè)置的電鍍槽，設(shè)于電鍍槽上部、并用于承載管式PERC雙面太陽(yáng)電池的承載軸，設(shè)于電鍍槽上方的LED燈，以及電源；
所述電鍍槽內(nèi)設(shè)有陽(yáng)極板和電刷，所述電源的正極與陽(yáng)極板連接，電源的負(fù)極與電刷連接，電刷與管式PERC雙面太陽(yáng)電池背面的背銀主柵連接，所述LED燈照射管式PERC雙面太陽(yáng)電池的背面。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門(mén)適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門(mén)適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門(mén)適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
