[發明專利]一種新型鍍膜設備

有效

• 申請號: 201711403120.6
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN107841721B
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 李峰
• 申請（專利權）人: 江西邦盛光學儀器有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50
• 代理公司: 中山市捷凱專利商標代理事務所(特殊普通合伙) 44327
• 代理人: 楊連華

1.一種新型鍍膜設備，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的頂面均勻固定有多個支撐柱體(2)，所述支撐柱體(2)的頂面固定有真空室(3)，所述真空室(3)的頂面對稱固定有支撐板(4)，所述支撐板(4)的頂面固定有頂板(5)，所述頂板(5)的底面中部固定有電機(6)，所述真空室(3)的底面中部設有T形盲孔A(3-3)，所述T形盲孔A(3-3)內旋轉連接有圓形板塊C(40)，所述電機(6)的驅動端固定連接有連桿(7)，連桿(7)的底端伸入真空室(3)與圓形板塊C(40)相固定，所述連桿(7)的外部套有滑動環形板(8)，所述頂板(5)的底面固定有千斤頂(9)，所述千斤頂(9)的活塞桿底面設有弧形凹槽，弧形凹槽內旋轉連接有滾珠(10)，滾珠(10)的底端伸出弧形凹槽與滑動環形板(8)的頂面接觸，所述真空室(3)的頂面中部設有通孔A(3-1)，所述通孔A(3-1)的內壁設有環形凹槽(3-2)，環形凹槽(3-2)的截面為T形，所述通孔A(3-1)內貼合設有固定在連桿(7)上的圓形板塊A(11)，所述圓形板塊A(11)的外環面固定有與環形凹槽(3-2)相匹配的環形滑塊(12)，環形滑塊(12)與環形凹槽(3-2)旋轉連接，所述圓形板塊A(11)與滑動環形板(8)之間均勻固定有多個彈簧A(13)，所述真空室(3)內部設有環形固定塊(14)，環形固定塊(14)套在連桿(7)外部，所述環形固定塊(14)與連桿(7)之間均勻固定有多個支撐肋板(15)，所述環形固定塊(14)的頂面均勻設有多個方形通孔A(14-1)，所述方形通孔A(14-1)的側壁中部旋轉連接有橫桿B(18)，橫桿B(18)的端部穿過環形固定塊(14)的內環面指向環形固定塊(14)的圓心，所述方形通孔A(14-1)的另一側壁設有T形盲孔B(14-2)，所述T形盲孔B(14-2)內旋轉連接有圓形板塊B(16)，所述圓形板塊B(16)的側面固定有橫桿A(17)，橫桿A(17)與橫桿B(18)的中心線相同，所述橫桿A(17)和橫桿B(18)的端部均設有夾板(20)，所述夾板(20)的側面固定有下夾塊(21)，所述夾板(20)的側面上部設有滑槽A(20-1)，所述滑槽A(20-1)內滑動設有方形滑桿(22)，所述夾板(20)的側面上部固定有固定板(23)，所述固定板(23)與方形滑桿(22)之間固定有彈簧B(24)，所述固定板(23)的頂面螺紋連接有螺栓(25)，所述方形滑桿(22)的底面固定有上夾塊(26)，所述上夾塊(26)與下夾塊(21)之間夾放設有基片(19)，所述橫桿B(18)的端部固定連接有齒輪(27)，所述環形固定塊(14)的上方設有固定在連桿(7)上的環形固定板(28)，所述環形固定板(28)的頂面均勻設有多個方形通孔B(28-1)，所述方形通孔B(28-1)內滑動設有齒條(29)，齒條(29)與齒輪(27)相互嚙合，所述齒條(29)的側面設有滑槽B(29-1)，滑槽B(29-1)的截面為T形，所述滑槽B(29-1)內滑動連接有與其相匹配的T形滑塊(28-2)，T形滑塊(28-2)固定在方形通孔B(28-1)的側壁上，齒條(29)的頂面固定有與圓形板塊A(11)滑動連接的固定桿(30)，固定桿(30)的頂端穿過圓形板塊A(11)與滑動環形板(8)相固定，所述真空室(3)的兩側面均設有通孔B(3-4)，所述真空室(3)的兩側面均固定有套筒(31)，套筒(31)通過通孔B(3-4)與真空室(3)連通，所述套筒(31)的外壁螺紋連接有密封箱蓋(32)，所述密封箱蓋(32)的內壁貼附有密封片(33)，所述密封箱蓋(32)側面中部固定有U形把手(34)，所述真空室(3)的內部底面均勻固定有靶座(35)，每個方形通孔A(14-1)的正下方的相對位置均設有至少一個靶座(35)，所述底板(1)的頂面固定有前級泵(36)、油擴散泵(37)和真空泵(38)，前級泵(36)、油擴散泵(37)和真空泵(38)對應連接配合用于抽離真空室(3)內的氣體，所述真空室(3)的底面固定有真空度檢測儀(39)。

2.根據權利要求1所述的一種新型鍍膜設備，其特征在于：所述彈簧A(13)為壓縮彈簧。

3.根據權利要求1所述的一種新型鍍膜設備，其特征在于：所述彈簧B(24)為拉伸彈簧。

4.根據權利要求1所述的一種新型鍍膜設備，其特征在于：所述套筒(31)與真空室(3)之間通過焊接固定。

5.根據權利要求1所述的一種新型鍍膜設備，其特征在于：所述密封片(33)的材料為天然橡膠。