[發明專利]帶電粒子束裝置和控制方法

在審

• 申請號: 201711391373.6
• 申請日: 2017-12-21
• 公開（公告）號: CN108231512A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 鈴木秀和
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種帶電粒子束裝置，其具有：

照射部，其向試樣照射帶電粒子束；

像形成部，其檢測通過所述帶電粒子束的照射而從所述試樣產生的帶電粒子，并形成基于該帶電粒子的檢測信號的圖像；

輸入接受部，其接受觀察條件；

導出部，其根據所接受的所述觀察條件和存儲在存儲部中的第一觀察參數導出適于該觀察條件的第二觀察參數；以及

控制部，其根據所述第二觀察參數控制所述照射部。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其中，

所述輸入接受部接受使所述帶電粒子束加速的加速電壓、所述帶電粒子束的射束電流、使所述帶電粒子束會聚的物鏡的動作模式即鏡頭模式、保持所述試樣的支架的種類、所述試樣的材質、載置所述試樣的載臺的位置即載臺位置中的一部分或全部的組合作為所述觀察條件，

在所述存儲部中存儲有該組合作為所述第一觀察參數。

3.根據權利要求1或2所述的帶電粒子束裝置，其中，

在所述存儲部中存儲有與所述照射部進行的所述帶電粒子束的照射相關的表示射束照射條件的1個以上的射束照射參數和與所述帶電粒子的檢測相關的表示檢測條件的1個以上的檢測參數中的一部分或全部的組合作為所述第二觀察參數。

4.根據權利要求3所述的帶電粒子束裝置，其中，

所述射束照射參數是使所述照射部照射所述帶電粒子束時對所述照射部設定的準心、射束移位、OL值、標記值中的一部分或全部的組合，

所述檢測條件是對比度值、亮度值中的任意一方或兩者的組合。

5.根據權利要求1至4中的任意一項所述的帶電粒子束裝置，其中，

在所述存儲部中存儲有將所述第一觀察參數和所述第二觀察參數對應起來的數據庫，

所述導出部根據所接受的所述觀察條件和所述第一觀察參數導出包含于所述數據庫中的所述第二觀察參數中的、貌似與該觀察條件對應的所述第二觀察參數作為適于該觀察條件的所述第二觀察參數。

6.根據權利要求5所述的帶電粒子束裝置，其中，

所述導出部確定包含于所述數據庫中的所述第一觀察參數中的最接近所接受的所述觀察條件的所述第一觀察參數，并將與確定的該第一觀察參數對應的所述第二觀察參數作為貌似與該觀察條件對應的所述第二觀察參數導出。

7.根據權利要求6所述的帶電粒子束裝置，其中，

包含于所述數據庫中的所述第一觀察參數所包含的參數分別對應有優先順序，

所述導出部根據所述優先順序和所接受的所述觀察條件來確定包含于所述數據庫中的所述第一觀察參數中的最接近該觀察條件的所述第一觀察參數。

8.根據權利要求5所述的帶電粒子束裝置，其中，

所述導出部根據使所述數據庫進行學習的機器學習的算法和所接受的所述觀察條件，從所述數據庫導出貌似與該觀察條件對應的所述第二觀察參數。

9.根據權利要求5至8中的任意一項所述的帶電粒子束裝置，其中，

該帶電粒子束裝置還具有存儲所述數據庫的存儲部，

所述導出部從所述存儲部讀出所述數據庫。

10.根據權利要求5至9中的任意一項所述的帶電粒子束裝置，其中，

所述導出部經由網絡從所述存儲部獲取所述數據庫。

11.根據權利要求5至10中的任意一項所述的帶電粒子束裝置，其中，

所述數據庫是將所述照射部過去對試樣照射所述帶電粒子束時的所述第一觀察參數和所述第二觀察參數對應起來的數據庫。

12.一種控制方法，其是如下帶電粒子束裝置的控制方法，該帶電粒子束裝置具有：照射部，其向試樣照射帶電粒子束；以及像形成部，其檢測通過所述帶電粒子束的照射而從所述試樣產生的帶電粒子，并形成基于該帶電粒子的檢測信號的圖像，其中，該控制方法具有如下步驟：

接受觀察條件；

由導出部根據所接受的所述觀察條件和存儲在存儲部中的第一觀察參數導出適于該觀察條件的第二觀察參數；以及

由控制部根據導出的所述第二觀察參數控制所述照射部。