[發明專利]一種線性蒸發源裝置及蒸鍍裝置

在審

• 申請號: 201711386029.8
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN109943806A
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 李兆晟;金薰;丁熙榮;金甲錫
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

本發明涉及顯示技術領域，公開了一種線性蒸發源裝置及蒸鍍裝置，該線性蒸發源裝置包括：殼體；安裝于殼體內的存儲部件；安裝于殼體內的加熱組件；安裝于殼體內的熱吸收組件，熱吸收組件包括熱吸收部和冷卻部，熱吸收部位于存儲部件外側、且與存儲部件的底部配合以吸收存儲部件的底部多余的熱，冷卻部與熱吸收部連接以對熱吸收部吸收的熱量進行冷卻；噴嘴部。上述線性蒸發源裝置中，熱吸收組件中的熱吸收部將存儲部件底部多余的熱量吸收，并傳遞至冷卻部中，通過冷卻部將存儲部件底部多余的熱量進行冷卻，防止出現存儲部件局部高溫導致有機物變性，進而提高了基板上形成的有機膜的實用性、提高了由有機膜制備的顯示裝置的亮度和壽命。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種線性蒸發源裝置及蒸鍍裝置。

背景技術

有機電場發光顯示裝置的有機半導體裝置需要形成有機膜，當形成有機膜的物質為低分子時，由于低分子在200℃至400℃的較低溫度中可以進行蒸發，現有技術中通常采用蒸發源裝置對低分子有機物進行蒸發和噴射，在基板上形成有機膜。

但是，在長時間的蒸鍍工藝期間，蒸發源內部溫度較高、壓力較大，且蒸發源內的有機物在蒸鍍過程中極易受熱不均，從而出現有機物變性的現象，導致由變性有機物形成的有機膜制備的顯示裝置的亮度和壽命降低。

發明內容

本發明提供了一種線性蒸發源裝置及蒸鍍裝置，通過在存儲部件的底部設置熱吸收組件，將存儲部件中多余的熱量排出，避免存儲部件內部有機物溫度過高出現有機物變性的現象，提高基板上形成的有機膜的實用性、提高顯示裝置的亮度和壽命。

為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：

一種線性蒸發源裝置，包括：

殼體，所述殼體的頂部設有開口；

安裝于所述殼體內的存儲部件，所述存儲部件的內部形成有用于放置有機物的腔室，且所述存儲部件的頂部形成有開口；

安裝于所述殼體內以對所述存儲部件加熱的加熱組件；

安裝于所述殼體內的熱吸收組件，所述熱吸收組件包括熱吸收部和冷卻部，所述熱吸收部位于所述存儲部件外側、且與所述存儲部件的底部配合以吸收所述存儲部件的底部多余的熱，所述冷卻部與所述熱吸收部連接以對所述熱吸收部吸收的熱量進行冷卻；

噴嘴部，所述噴嘴部的一端自所述殼體頂部設置的開口探出所述殼體、且另一端與所述存儲部件的開口連通。

上述線性蒸發源裝置在工作過程中，加熱組件為存儲部件加熱，使存儲部件中的有機物蒸發，蒸發的有機物通過噴嘴部噴射至基板上，并在基板上形成有機膜，為避免存儲部件內溫度過高而導致有機物變性，在存儲部件的底部配合設置有熱吸收組件，其中，熱吸收組件中的熱吸收部將存儲部件底部多余的熱量吸收，并傳遞至冷卻部中，通過冷卻部將存儲部件底部多余的熱量進行冷卻，從而降低存儲部件底部的溫度，防止出現存儲部件局部高溫導致有機物變性，進而提高了基板上形成的有機膜的實用性、提高了由有機膜制備的顯示裝置的亮度和壽命。

優選地，所述熱吸收部在所述存儲部件的底面上的投影覆蓋所述存儲部件的底面；或者，

所述熱吸收部包括多個用于將所述存儲部件的底部局部多余熱量進行吸收的子吸收部，多個所述子吸收部在所述存儲部件的底面上的投影覆蓋所述存儲部件底面的一部分區域。

優選地，所述殼體的內壁上設有熱反射板。

優選地，所述熱吸收部由至少一層金屬導熱板制成。

優選地，所述金屬導熱板的材料為鈦、不銹鋼或者鋁。

優選地，所述冷卻部為水冷系統。

優選地，所述殼體外套設有用于防止熱量傳遞到基板上的冷卻系統。