[發明專利]一種線性蒸發源裝置及蒸鍍裝置

在審

• 申請號: 201711386029.8
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN109943806A
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 李兆晟;金薰;丁熙榮;金甲錫
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種線性蒸發源裝置，其特征在于，包括：

殼體，所述殼體的頂部設有開口；

安裝于所述殼體內的存儲部件，所述存儲部件的內部形成有用于放置有機物的腔室，且所述存儲部件的頂部形成有開口；

安裝于所述殼體內以對所述存儲部件加熱的加熱組件；

安裝于所述殼體內的熱吸收組件，所述熱吸收組件包括熱吸收部和冷卻部，所述熱吸收部位于所述存儲部件外側、且與所述存儲部件的底部配合以吸收所述存儲部件的底部多余的熱，所述冷卻部與所述熱吸收部連接以對所述熱吸收部吸收的熱量進行冷卻；

噴嘴部，所述噴嘴部的一端自所述殼體頂部設置的開口探出所述殼體、且另一端與所述存儲部件的開口連通。

2.根據權利要求1所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述熱吸收部在所述存儲部件的底面上的投影覆蓋所述存儲部件的底面；或者，

所述熱吸收部包括多個用于將所述存儲部件的底部局部多余熱量進行吸收的子吸收部，多個所述子吸收部在所述存儲部件的底面上的投影覆蓋所述存儲部件底面的一部分區域。

3.根據權利要求1所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述殼體的內壁上設有熱反射板。

4.根據權利要求1所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述熱吸收部由至少一層金屬導熱板制成。

5.根據權利要求4所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述金屬導熱板的材料為鈦、不銹鋼或者鋁。

6.根據權利要求1所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述冷卻部為水冷系統。

7.根據權利要求1所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述殼體外套設有用于防止熱量傳遞到基板上的冷卻系統。

8.根據權利要求1-7任一項所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述熱吸收組件還包括設置于所述熱吸收部與所述冷卻部之間的熱分散部；所述熱分散部與所述熱吸收部連接以將所述熱吸收部吸收的熱量進行擴散，所述冷卻部通過所述熱分散部與所述熱吸收部連接，以將所述熱分散部分散的熱量進行冷卻。

9.根據權利要求8所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，當所述熱吸收部包括多個子吸收部時：

所述熱分散部包括與所述子吸收部一一對應的子熱分散部，每一對相互對應的子熱分散部與子吸收部中，所述子熱分散部安裝于所述子吸收部與所述冷卻部之間；或者，

所述熱分散部一個熱分散板，各所述子吸收部安裝于所述熱分散板上，所述熱分散板安裝于所述冷卻部。

10.根據權利要求9所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述熱分散板上未被所述子吸收部覆蓋的部位設有至少一個通孔。

11.根據權利要求1-7任一項所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述存儲部件的底部朝向所述熱吸收部的表面形成有多個凸起，所述熱吸收部朝向所述存儲部件的表面形成有與所述凸起一一對應的凹陷，每一對相互對應的凸起和凹陷中，所述凸起的表面與所述凹陷的內壁接觸。

12.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括權利要求1-11任一項所述的線性蒸發源裝置，還包括本體和用于移動所述線性蒸發源裝置的移送裝置，所述本體內、與所述移送裝置相對設置有用于放置基板的架體；

當所述線性蒸發源裝置工作時，所述本體內的工作環境為真空。