[發(fā)明專利]光對準信號處理方法、光柵對準方法以及對準系統(tǒng)

有效

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• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN109946927B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設計）人: 王麗;王海江;程鵬
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種光對準信號處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、光信號采集模塊采集對準測量的多級次光信號信息，并在T1時刻提取a級次光信號信息；

步驟2、濾波模塊對所述多級次光信號信息處理，并在T2時刻提取b級次光信號信息；

步驟3、信號處理模塊對所述b級次光信號信息進行處理、分析，得到對準信息；

其中，所述a級次光信號信息與b級次光信號信息為所述多級次光信號信息中的部分級次光信號信息，至少所述a級次光信號信息的最高級次與所述b級次光信號信息的最低級次重疊。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種光對準信號處理方法，其特征在于，所述濾波模塊由濾波控制模塊進行控制，所述濾波控制模塊控制所述濾波模塊對所述多級次光信號信息進行篩選。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的一種光對準信號處理方法，其特征在于，所述濾波模塊包括若干個濾波器和若干個開關，所述開關控制所述多級次光信號信息進入選定的濾波器。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種光對準信號處理方法，其特征在于，所述步驟1包括：

對所述光信號進行采集，并對采集到的所述光信號的信息進行放大得到所述多級次光信號信息。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種光對準信號處理方法，其特征在于，所述步驟3包括：

信號處理模塊接受所述b級次光信號信息，并將所述b級次光信號信息轉換為數(shù)字信號；

分析所述數(shù)字信號，得到對準信息。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種光對準信號處理方法，其特征在于，還包括對所述數(shù)字信號解析處理，得到對準信息。

7.一種光柵對準方法，其特征在于，包括有如權利要求1至6任一項所述的光對準信號處理方法，所述光柵對準方法包括：

S1，采用所述光信號采集模塊將光信號轉化為電流信號；

S2，采用所述光信號采集模塊將S1中的電流信號放大為電壓信號；

S3，采用所述濾波模塊對電壓信號進行選擇，保留需要的信號信息；

S4，采用所述信號處理模塊將保留的信號信息通過自動增益放大到固定電壓值；

S5，采用所述信號處理模塊將固定電壓值轉換為數(shù)字信號上傳給軟件。

8.一種光信號處理模塊，其特征在于，包括光信號采集模塊、信號處理模塊、濾波模塊以及用于控制所述濾波模塊的濾波控制模塊，所述光信號采集模塊用于采集對準測量的多級次光信號信息，并將所述多級次光信號信息轉換為相應的電信號，且在T1時刻提取a級次光信號信息，所述濾波模塊用于對所述電信號信息進行處理，并在T2時刻允許b級次光信號信息所對應的電信號通過，所述信號處理模塊用于對所述濾波模塊在T2時刻通過的所述b級次光信號信息所對應的電信號進行處理、分析，得到對準信息；所述a級次光信號信息和所述b級次光信號信息為所述多級次光信號信息中的部分級次的光信號信息，且至少所述a級次光信號信息的最高級次與所述b級次光信號信息的最低級次重疊。

9.根據(jù)權利要求8所述的一種光信號處理模塊，其特征在于，所述光信號采集模塊包括有光電轉換電路以及電流轉電壓電路，所述光電轉換電路用于將光信號轉換為電流信號，所述電流轉電壓電路用于將電流信號放大為電壓信號。

10.根據(jù)權利要求8或9所述的一種光信號處理模塊，其特征在于，所述濾波模塊包括有自動開關選擇濾波電路，所述自動開關選擇濾波電路包括多選一開關以及帶通電路，所述多選一開關以及所述帶通電路用于對1、3、5……x級次光信號信息中的一個或多個的光信號信息進行選擇，其中，x為大于1的奇數(shù)。