[發明專利]顯影設備及其顯影液供應系統

在審

• 申請號: 201711383928.2
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN108121174A
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發明（設計）人: 李培宏
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;黃進

本發明公開了一種顯影設備及其顯影液供應系統，其中，所述顯影液供應系統包括：儲液容器，包括進液口和出液口，用于儲存第一顯影液；第一管道，連接所述噴淋頭和所述出液口，所述第一管道上設置有動力泵，所述動力泵將第一顯影液通過所述第一管道輸送至所述噴淋頭；第二管道，連接到所述進液口，用于向所述儲液容器補充第二顯影液；第三管道，連通所述第一管道和所述第二管道，用于將第一顯影液輸送至所述第二管道，以使第二顯影液與第一顯影液在所述第二管道中混合后再輸入到所述儲液容器。本發明提供的顯影液供應系統可以提高新補給的顯影液與原有顯影液相互混合的均勻性，提升顯影工藝的品質。

技術領域

本發明涉及液晶顯示器制造過程中的生產設備，具體涉及一種顯影設備及其顯影液供應系統。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD，Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay)工藝可分為三大流程，第一段為陣列基板及彩膜基板的工藝，第二段為配向、液晶填充與封合面板工藝；第三段則為偏光片、背光片與面板組裝的液晶顯示模塊。其中，陣列基板和彩膜基板的工藝中包含多個曝光顯影的步驟，需要使用到顯影設備。

液晶顯示器行業中，對玻璃基板進行顯影的工藝主要包括：將待顯影玻璃基板放置于顯影腔，進而采用顯影機(Developer)的帶有噴頭的搖桿上下移動的方式對待顯影玻璃基板噴灑顯影液，實現對待顯影玻璃基板的顯影。其中，為了節約顯影液消耗量，需要循環使用顯影液，因此顯影設備中通常是設置有可以使得顯影液循環利用的顯影液供應系統。

隨著顯影工藝的進行，循環一段時間后顯影液濃度降低，此時需要向儲液槽中補充新的顯影液以達到顯影所需濃度。為了避免設備停止運轉以提高生成效率，通常是在進行顯影工藝的同時補充新的顯影液，新的顯影液和原有的顯影液在儲液槽中混合的時間較短，存在混合不均勻的隱患，這將會導致玻璃基板上的顯影圖案發生難以維持顯影均勻性、特別是線寬度均勻性(CD均勻性)的問題，尤其是對于線寬較小的圖案。

發明內容

鑒于現有技術存在的不足，本發明提供了一種顯影設備及其顯影液供應系統，在補充新的顯影液時，所述顯影液供應系統可以使得顯影液的混合更加均勻，提升了顯影工藝的品質。

為了達到上述的目的，本發明采用了如下的技術方案：

一種顯影液供應系統，用于向顯影設備的噴淋頭供應顯影液，其中，所述顯影液供應系統包括：

儲液容器，包括進液口和出液口，用于儲存第一顯影液；

第一管道，連接所述噴淋頭和所述出液口，所述第一管道上設置有動力泵，所述動力泵將第一顯影液通過所述第一管道輸送至所述噴淋頭；

第二管道，連接到所述進液口，用于向所述儲液容器補充第二顯影液；

第三管道，連通所述第一管道和所述第二管道，用于將第一顯影液輸送至所述第二管道，以使第二顯影液與第一顯影液在所述第二管道中混合后再輸入到所述儲液容器。

其中，所述第二管道上設置有允許第二顯影液流向所述儲液容器的第一逆止閥，所述第一逆止閥在所述第二管道上位于所述第二管道的輸入端和所述第二管道與所述第三管道的連接節點之間；所述第三管道上設置有允許第一顯影液流向所述第二管道的第二逆止閥。

其中，所述第一管道上設置有第一開關閥，所述第二管道上設置有第二開關閥，所述第三管道上設置有第三開關閥。

其中，所述第二管道上設置有第一調壓閥，所述第三管道上設置有第二調壓閥。