[發(fā)明專利]一種用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711378330.4
• 申請(qǐng)日: 2017-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107987732B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 裴亞利;陳海海;操應(yīng)軍;李寶德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京航天賽德科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/302
• 分類號(hào): H01L21/302
• 代理公司: 11303 北京方韜法業(yè)專利代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 馬麗蓮

1.一種用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液，其特征在于，包括如下重量百分含量的組分：

二氧化硅膠體10-50％

分散劑0.01-0.5％

抗結(jié)晶劑0.1-2％

絡(luò)合劑0.01-0.2％

表面活性劑0.01-0.5％

消泡劑0.01-0.5％

適量pH調(diào)節(jié)劑調(diào)節(jié)pH值在8.5-11.5，余量為去離子水；

其中，二氧化硅膠體中的二氧化硅顆粒粒徑40-150nm，比表面積與粒徑存在如下關(guān)系：S/D_S²＝0.0020-0.0675，S以m²/g,D_S為二氧化硅膠體顆粒的平均粒徑，以納米計(jì)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液，其特征在于，包括如下重量百分含量的組分：

二氧化硅膠體35-40％

分散劑0.05-0.2％

抗結(jié)晶劑0.5-1％

絡(luò)合劑0.05-0.1％

表面活性劑0.05-0.1％

消泡劑0.05-0.1％

適量pH調(diào)節(jié)劑調(diào)節(jié)pH值在9.5-10.5，余量為去離子水。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液，其特征在于，所述二氧化硅顆粒粒徑80-110nm，比表面積與粒徑存在如下關(guān)系：S/D_S²＝＝0.0020-0.0100。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液，其特征在于，所述pH調(diào)節(jié)劑采用pH酸性調(diào)節(jié)劑或pH堿性調(diào)節(jié)劑；

所述pH酸性調(diào)節(jié)劑采用鹽酸、硝酸、草酸、檸檬酸或磷酸中的任一種；

所述pH堿性調(diào)節(jié)劑采用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、三乙醇胺、乙二胺、四甲基氫氧化銨中的任一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液，其特征在于，所述分散劑采用甲基硅油和異丙醇，重量配比為1：5-10。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液，其特征在于，所述抗結(jié)晶劑采用山梨糖醇、乙二醇中的一種或多種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液，其特征在于，所述絡(luò)合劑采用乙二胺四乙酸二鈉、四甲基氯化銨中的一種或多種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液，其特征在于，所述表面活性劑采用脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、十六烷基三甲基溴化銨、聚丙烯酸鈉中的一種或多種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液，其特征在于，所述消泡劑采用聚醚消泡劑、有機(jī)硅消泡劑中的一種或多種。

10.權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的用于藍(lán)寶石平面拋光的拋光液的制備方法，其特征在于，將所述分散劑與去離子水混合稀釋，持續(xù)攪拌，在攪拌條件下，向二氧化硅膠體水溶液中加入，再依次加入抗結(jié)晶劑、絡(luò)合劑、表面活性劑和消泡劑，最后用pH調(diào)節(jié)劑調(diào)整pH值，補(bǔ)足去離子水調(diào)節(jié)含量。