[發(fā)明專利]一種硅片清洗花籃齒桿

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711377339.3
• 申請日: 2017-12-19
• 公開（公告）號: CN107919308A
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳世欽
• 申請（專利權(quán)）人: 常州市杰洋精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)32257
• 代理人: 王倩

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片清洗器具技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片清洗花籃齒桿。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗，因為微量污染會導(dǎo)致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機物和無機物。清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。

在對硅片進(jìn)行清洗時，使用硅片清洗花籃，不僅由于化學(xué)藥劑具有腐蝕性，而且清洗花籃的插槽有利于將硅片均勻分開，不發(fā)生粘連，影響清洗的效果。

另外由于在清洗過程中，為了防止硅片上部發(fā)生形變而粘連在一起，現(xiàn)有硅片清洗花籃中在花籃的頂部設(shè)置有上部齒桿，現(xiàn)有齒桿大多為菱形，菱形的齒桿易在硅片表面形成齒痕印，造成硅片的成品率低，另外塑料制成的齒桿由于接觸較多的清洗劑，極易發(fā)生溶解而污染清洗劑，影響清洗效果 。

有鑒于上述現(xiàn)有的硅片清洗花籃齒桿存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計制造多年豐富的實務(wù)經(jīng)驗及專業(yè)知識，并配合學(xué)理的運用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種硅片清洗花籃齒桿，使其更具有實用性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計，并經(jīng)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實用價值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于，克服現(xiàn)有的一種硅片清洗花籃齒桿存在的缺陷，而提供一種新型一種硅片清洗花籃齒桿，替代傳統(tǒng)的菱形齒桿，采用半橢圓形齒桿，另外選用的齒桿的材料不僅強度高，且不易與清洗劑發(fā)生反應(yīng)，從而有效減少清洗劑的污染，從而更加適于實用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價值。

本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。

一種硅片清洗花籃齒桿，包括齒桿主體及均勻設(shè)置在所述齒桿主體上的齒柱，其中所述齒柱垂直于所述齒桿主體長度方向的截面為橢圓形，所述齒桿主體的兩端部設(shè)置有連接部，用于連接所述齒桿主體與硅片清洗花籃。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述齒桿主體的上部均勻的設(shè)置有多個凹陷部以及設(shè)置在相鄰的所述凹陷部之間的凸起平臺，且所述凸起平臺與所述齒桿主體外側(cè)面齊平。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述齒柱包括固定設(shè)置在所述凹陷部內(nèi)的下部和半橢圓形上部，且沿所述齒桿主體的長度方向的截面為等腰三角形，且所述等腰三角形的底角為20-40°。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述凹陷部的長度為所述齒桿主體外周長的1/3-1/2。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述連接部與所述齒桿主體的兩端部分別為可拆卸連接。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述連接部與所述齒桿主體的兩端部分別為螺紋連接。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述齒柱和所述齒桿主體由以下重量份數(shù)的各組分組成：

PVDF 50-80份

碳纖維 10-30份

鈦白粉 1-3份。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述碳纖維為顆粒狀或粉狀碳纖維，且所述碳纖維的長度不大于40mm。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述齒柱和所述齒桿主體為一體成型結(jié)構(gòu)。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述齒柱等分為兩組，分別均勻設(shè)置在所述齒桿主體上，且兩組所述齒柱之間預(yù)留有空隙，且所述空隙的長度為所述齒桿主體總長度的1/10-1/9。

采用上述技術(shù)方案，能夠?qū)崿F(xiàn)以下技術(shù)效果：

1）、替代傳統(tǒng)的菱形齒桿，采用半橢圓形齒桿，能夠有效減少齒柱在硅片上留下的印痕，另外齒柱為上寬下窄型，便于插入硅片的同時，較窄的底部能夠卡住硅片；

2）、齒桿主體及齒柱采用的材料PVDF中加入增強碳纖維，碳纖維的加入不僅能夠有效提高齒桿的強度，且碳纖維反應(yīng)活性低、不易與清洗劑發(fā)生反應(yīng)，從而有效減少清洗劑的污染，且由于PVDF中無親水基團(tuán)，表現(xiàn)為疏水性，因此清洗劑不易殘留在清洗花籃齒桿的表面；

3）、鈦白粉的加入能夠有效提高PVDF制品的耐熱、耐光、耐腐蝕性能，且能夠有效改善PVDF制品的機械性能。

附圖說明

圖1為本發(fā)明硅片清洗花籃齒桿的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的左視圖；

圖3為圖2的主視圖；

圖4為圖3中A處的放大示意圖；

其中，1-齒桿主體，2-齒柱，3-連接部，4-空隙。

具體實施方式

為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效, 對依據(jù)本發(fā)明提出的硅片清洗花籃齒桿其具體實施方式、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。