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[發明專利]一種用于LED襯底晶片的清洗裝置在審

專利信息
申請號: 201711364064.X 申請日: 2017-12-18
公開(公告)號: CN107808915A 公開(公告)日: 2018-03-16
發明(設計)人: 戴龍巖 申請(專利權)人: 惠州市爍達德高光電科技有限公司
主分類號: H01L33/00 分類號: H01L33/00;H01L21/02;H01L21/67
代理公司: 惠州市超越知識產權代理事務所(普通合伙)44349 代理人: 陳文福
地址: 516000 廣東省惠州市水口*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 led 襯底 晶片 清洗 裝置
【說明書】:

技術領域

發明涉及LED襯底晶片的技術領域,尤其涉及一種用于LED襯底晶片的清洗裝置。

背景技術

現在在人們日常的生活中,LED的使用已經越來越離不開人們的生活,LED襯底晶片大多數為藍寶石,藍寶石因其工藝成熟,可以大面積的獲得,所以大容量的清洗藍寶石顯得尤為重要,但現在的清洗裝置中,沒有特定針對藍寶石的清洗裝置,藍寶石的清洗工藝為,先用加熱的無水乙醇清洗三分鐘,再轉入到加熱的酸溶液清洗五到十分鐘,酸溶液的比例為,硫酸和磷酸的體積比為3:1,經過酸溶液清洗過后,轉入到去離子水中潤洗,完成清洗,針對技術的缺點,提出這樣一套藍寶石的清洗裝置,該裝置可以進行大量的襯底晶片的清洗,操作簡單,可以很好的解決沒有專門的清洗裝置清洗襯底晶片的現狀。

發明內容

本發明的目的是為了解決現有技術中存在的現在的清洗裝置中,沒有特定針對藍寶石的清洗裝置的缺點,而提出的一種用于LED襯底晶片的清洗裝置。

為了實現上述目的,本發明采用了如下技術方案:

一種用于LED襯底晶片的清洗裝置,包括主箱體,所述主箱體內分隔有無水乙醇池、酸溶液池和去離子水池,所述無水乙醇池的一側固定有擋板,所述擋板的一側設有固定在主箱體內側壁上的卡環,所述卡環上設有螺紋孔,所述卡環通過螺紋孔螺紋連接有螺桿,所述螺桿的一端與擋板固定連接,所述螺桿的另一端貫穿主箱體并固定有把手,所述擋板的底端設有第一滑塊,所述第一滑塊的一側設有緊鎖螺桿,所述緊鎖螺桿貫穿主箱體套設有第一復位彈簧,所述無水乙醇池遠離第一滑塊的側壁設有第一開關,所述酸溶液池內設有過濾板,所述過濾板的一側通過第一轉軸與酸溶液池的內壁轉動連接,所述過濾板遠離第一轉軸的底部設有復位桿,所述復位桿的一側固定連接有卡塊,所述酸溶液池的內側壁上設有與卡塊對應的卡口,所述復位桿的底端貫穿酸溶液池固定連接有卡環,所述酸溶液池靠近第一轉軸的一側側壁設有第二開關,所述第二開關的出口與去離子水池位置對應,所述主箱體的頂部設有進料口,所述進料口的一側設有固定在主箱體上側的電機,所述電機的驅動端連接有第二齒輪,所述第二齒輪的兩側均設有與其嚙合連接有第一齒輪,所述第一齒輪通過連接軸與主箱體的頂部轉動連接,兩個所述連接軸的下端貫穿主箱體的頂部并分別向無水乙醇池和酸溶液池內延伸,所述連接軸的下端固定有攪拌棒。

優選地,所述擋板與無水乙醇池的內壁設有緩沖裝置,所述緩沖裝置由第二收縮桿和第二復位彈簧組成。

優選地,所述無水乙醇池的下側設有廢液收集池,所述液體收集池內固定有過濾網。

優選地,所述無水乙醇池和酸溶液池的內側壁上均設有加熱塊。

優選地,所述擋板的上側設有第二滑塊,所述無水乙醇池內頂部設有與第二滑塊對應的滾槽。

優選地,所述酸溶液池的一側內壁設有與卡塊對應的滑軌。

優選地,所述酸溶液池的內底部與過濾板之間設有第一收縮桿。

與現有技術相比,本發明的有益效果是:主箱體內分隔設有無水乙醇池、酸溶液池和去離子水池,可針對對晶片進行不同工藝的清洗,無水乙醇池和酸溶液池中設有加熱塊和攪拌棒,當晶片進入到兩個清洗池,溶液加熱后,溶液中的分子活動速度快,與晶片的接觸更加的頻繁,加上攪拌棒,避免晶片與晶片之間過度接觸,可以很好的讓溶液與晶片接觸,達到清洗的目的,設置緊鎖螺桿,緊鎖螺桿的一側固定第一滑塊,緊鎖螺桿上設有復位彈簧,當往外拽緊鎖螺桿時候,帶動第一滑塊滑出擋板的底部,無水乙醇會進入到下側的液體收集池中,液體收集池設置了過濾板,過濾無水乙醇中的雜質,可以重復的使用,松開緊鎖螺桿,在復位彈簧的作用下,第一滑塊會擋住擋板的下側,這樣可以使操作更加的簡單,轉動把手帶動螺桿上的擋板往前滑動,將晶片推入到酸溶液池中的過濾板上,過濾板上的晶片清洗完成后,通過卡塊向上方,卡住上側的卡口,卡塊帶動復位桿的過濾板傾斜,打開第二開關,晶片進入去離子水池中,完成清洗。

附圖說明

圖1為本發明提出的一種用于LED襯底晶片的清洗裝置的結構示意圖;

圖2為本發明提出的一種用于LED襯底晶片的清洗裝置A處放大示意圖。

圖中:1主箱體、2無水乙醇、3酸溶液池、4去離子水池、5擋板、6第一軸承、7螺桿、8把手、9第一滑塊、10緊鎖螺桿、11第一復位彈簧、12液體收集池、13過濾網、14過濾板、15轉軸、16復位桿、17卡塊、18進料口、19電機、20第二齒輪、21第一齒輪、22攪拌棒、23緩沖裝置、24加熱快、25第一收縮桿、26第二收縮桿、27第二復位彈簧、28卡環。

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