[發明專利]一種用于LED襯底晶片的清洗裝置

在審

• 申請號: 201711364064.X
• 申請日: 2017-12-18
• 公開（公告）號: CN107808915A
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 戴龍巖
• 申請（專利權）人: 惠州市爍達德高光電科技有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 惠州市超越知識產權代理事務所(普通合伙)44349
• 代理人: 陳文福

1.一種用于LED襯底晶片的清洗裝置，包括主箱體（1），所述主箱體（1）內分隔有無水乙醇池（2）、酸溶液池（3）和去離子水池（4），其特征在于，所述無水乙醇池（2）的一側固定有擋板（5），所述擋板（5）的一側設有固定在主箱體（1）內側壁上的卡環（6），所述卡環（6）上設有螺紋孔，所述卡環（6）通過螺紋孔螺紋連接有螺桿（7），所述螺桿（7）的一端與擋板（5）固定連接，所述螺桿（7）的另一端貫穿主箱體（1）并固定有把手（8），所述擋板（5）的底端設有第一滑塊（9），所述第一滑塊（9）的一側設有緊鎖螺桿（10），所述緊鎖螺桿（10）貫穿主箱體（1）套設有第一復位彈簧（11），所述無水乙醇池（2）遠離第一滑塊（9）的側壁設有第一開關，所述酸溶液池（3）內設有過濾板（14），所述過濾板（14）的一側通過第一轉軸（15）與酸溶液池（3）的內壁轉動連接，所述過濾板（14）遠離第一轉軸（15）的底部設有復位桿（16），所述復位桿（16）的一側固定連接有卡塊（17），所述酸溶液池（3）的內側壁上設有與卡塊（17）對應的卡口，所述復位桿（16）的底端貫穿酸溶液池（3）固定連接有卡環（28），所述酸溶液池（3）靠近第一轉軸（15）的一側側壁設有第二開關，所述第二開關的出口與去離子水池（4）位置對應，所述主箱體（1）的頂部設有進料口（18），所述進料口（18）的一側設有固定在主箱體（1）上側的電機（19），所述電機（19）的驅動端連接有第二齒輪（20），所述第二齒輪（20）的兩側均設有與其嚙合連接有第一齒輪（21），所述第一齒輪（21）通過連接軸與主箱體（1）的頂部轉動連接，兩個所述連接軸的下端貫穿主箱體（1）的頂部并分別向無水乙醇池（2）和酸溶液池（3）內延伸，所述連接軸的下端固定有攪拌棒（22）。

2.根據權利要求1所述的一種特定LED襯底晶片的清洗裝置，其特征在于，所述擋板（5）與無水乙醇池（2）的內壁之間設有緩沖裝置（23），所述緩沖裝置（23）由第二收縮桿（26）和第二復位彈簧（27）組成。

3.根據權利要求1所述的一種特定LED襯底晶片的清洗裝置，其特征在于，所述無水乙醇池（2）的下側設有廢液收集池（12），所述液體收集池（12）內固定有過濾網（13）。

4.根據權利要求1所述的一種特定LED襯底晶片的清洗裝置，其特征在于，所述無水乙醇池（2）和酸溶液池（3）的內側壁上均設有加熱塊（24）。

5.根據權利要求1所述的一種特定LED襯底晶片的清洗裝置，其特征在于，所述擋板（5）的上側設有第二滑塊，所述無水乙醇池（2）內頂部設有與第二滑塊對應的滾槽。

6.根據權利要求1所述的一種特定LED襯底晶片的清洗裝置，其特征在于，所述酸溶液池（3）的一側內壁設有與卡塊（17）對應的滑軌。

7.根據權利要求1所述的一種特定LED襯底晶片的清洗裝置，其特征在于，所述酸溶液池（3）的內底部與過濾板（14）之間設有第一收縮桿（25）。