[發明專利]一種真空鍍膜生產線用傳動機構

在審

• 申請號: 201711353380.7
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN108265264A
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 黃國興;孫桂紅;祝海生;黃樂;梁紅;吳永光
• 申請（專利權）人: 湘潭宏大真空技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C14/56;F16H49/00;F16H57/029
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

本發明公開了一種真空鍍膜生產線用傳動機構，其包括一主動組件、一從動組件和一磁力耦合器，主動組件和從動組件分別設置在磁力耦合器的兩側，主動組件受電驅動，通過磁力耦合器將主動組件的運動傳遞給從動組件。與現有技術相比，該傳動機構采用磁力耦合器連接主動軸和從動軸，主動軸和從動軸之間無直接接觸，無機械傳動，減少磨損，將動密封轉換為靜密封，保持各鍍膜生產線中各腔室的氣密性，有效防止出現漏氣現象產生，該傳動機構結構簡單，能耗減少，節約資源，使用方便，使用壽命延長，安全性提高因此其應用前景十分廣闊。

本案是申請號2013106885790的分案申請。

技術領域

本發明涉及真空鍍膜生產線領域，具體說，是涉及一種真空鍍膜生產線用傳動機構。

背景技術

真空鍍膜技術初現于20世紀30年代，四五十年代開始出現工業應用，工業化大規模生產開始于20世紀80年代，在電子、宇航、包裝、裝潢、燙金印刷等工業中取得廣泛的應用。真空鍍膜技術是一種新穎的材料合成與加工的新技術，是表面工程技術領域的重要組成部分。真空鍍膜技術是利用物理、化學手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜，從而使固體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導電、導磁、絕緣和裝飾燈許多優于固體材料本身的優越性能，達到提高產品質量、延長產品壽命、節約能源和獲得顯著技術經濟效益的作用。需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。

為了減少工藝的復雜性，鍍膜生產線中的各腔室空間狹小，僅能容基片架穿過，基片架在各腔室中通過安裝在各腔室的傳動機構傳送。現有技術中，一般是傳動機構中傳動輪安裝在各腔室內用于基片架的傳送，傳動機構中的驅動件安裝在鍍膜生產線中的各腔室外，驅動件中的驅動軸伸入到各腔室內來驅動傳動輪轉動，然后再密封，但是這種密封屬于動密封，驅動軸的旋轉還是會造成各腔室的漏氣現象出現。真空鍍膜生產線中，需要真空環境鍍膜，鍍膜生產線各腔室的氣密性需要非常優良，在各腔壁上打孔都會增大漏氣的可能性，即使采用各種機械密封或填料密封都有可能造成密封失效，因此如何將驅動件的運動傳遞給腔室內的傳動輪，又不影響鍍膜流水線中各腔室的氣密性是一個亟需解決的問題。

磁力傳動是采用現代最新永磁材料或電磁力，使主動件與從動件之間靠磁力的超矩特性，實現無接觸、無泄漏傳遞扭矩的一種新技術。實現這一技術的裝置稱為磁力驅動器，或稱磁力耦合器、磁力聯動器等。

磁力耦合器選用永磁材料制成，利用永磁材料的高磁能積、高矯頑力的特性把不同極性的磁體密集排列在一起，當沒有外力作用時，主動兩側相對的不同極性相互吸合在一起，當主動側在一起外力作用下產生位移，從動側由于慣性及負載的作用使主動、從動兩側的磁極發生錯位，此時主動、從動兩側的磁極除了異極的相互吸引力之外，還有同極的相互斥力作用。吸力和斥力形成了“推拉”作用力，從而帶動從動側位移，實現磁力傳動。磁力傳動整個傳動過程中，無從動軸和主動軸的直接接觸，將動密封轉換為靜密封，從而保持氣密性。

發明內容

針對現有技術存在的上述問題，本發明的目的是提供一種真空鍍膜生產線用傳動機構，將動密封轉換為靜密封，減少磨損，保持各鍍膜生產線中各腔室的氣密性。

為實現上述發明目的，本發明采用的技術方案如下：

一種真空鍍膜生產線用傳動機構，包括：一主動組件、一從動組件和一磁力耦合器，主動組件和從動組件分別設置在磁力耦合器的兩側，主動組件受電驅動，通過磁力耦合器使主動組件驅動從動組件運動。

優選地，主動組件包括一主動軸，從動組件包括一從動軸和一傳動輪，從動軸帶動傳動輪轉動，主動軸和從動軸設置在磁力耦合器的兩側，磁力耦合器連接主動軸和從動軸。

優選地，主動組件進一步包括一帶輪和一皮帶，帶輪設置在主動軸上，皮帶連接真空鍍膜生產線中的電機和主動軸上的帶輪，主動軸受真空鍍膜生產線中電機驅動。