[發明專利]一種真空測量裝置在審
| 申請號： | 201711353301.2 | 申請日： | 2017-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN107976279A | 公開（公告）日： | 2018-05-01 |
| 發明（設計）人： | 趙青松;南建輝 | 申請（專利權）人： | 北京創昱科技有限公司 |
| 主分類號： | G01L21/00 | 分類號： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司11002 | 代理人： | 王瑩,吳歡燕 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 真空 測量 裝置 | ||
1.一種真空測量裝置，其特征在于：包括沿壓力傳導方向依次設置的前級腔室和真空規，所述前級腔室與所述真空規連通，所述前級腔室內設有前級隔膜，所述真空規內設有測量隔膜，所述前級隔膜與所述測量隔膜之間形成壓力傳導腔，所述壓力傳導腔內填充有壓力傳導液。
2.根據權利要求1所述的真空測量裝置，其特征在于：所述前級腔室與所述真空規通過管道連通。
3.根據權利要求2所述的真空測量裝置，其特征在于：所述管道包括螺旋狀管道和直線狀管道。
4.根據權利要求2所述的真空測量裝置，其特征在于：所述管道上設有散熱元件。
5.根據權利要求4所述的真空測量裝置，其特征在于：所述散熱元件為均勻分布的散熱翅片。
6.根據權利要求1所述的真空測量裝置，其特征在于：所述前級腔室上設有所述壓力傳導液的填充口。
7.根據權利要求1所述的真空測量裝置，其特征在于：所述真空規內還設有電容元件、電容分析元件和輸入輸出單元，所述電容元件與所述壓力傳導液分別位于所述檢測隔膜兩側，所述電容分析元件與所述電容元件連接，且通過電極與所述輸入輸出單元連接。
8.根據權利要求2所述的真空測量裝置，其特征在于：所述真空規在與所述管道的連通處設有隔熱擋板。
9.根據權利要求1所述的真空測量裝置，其特征在于：還包括吸氣劑，所述吸氣劑設置于所述真空規內。
10.根據權利要求1所述的真空測量裝置，其特征在于：還包括加熱器，所述加熱器用于對所述前級腔室加熱，加熱溫度不超過500℃。
11.根據權利要求1-10任意一項所述的真空測量裝置，其特征在于：所述壓力傳導液為甘油或硅油。
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