[發明專利]大尺寸多塊釹玻璃元件側面加工裝置檢測裝置和加工方法

有效

• 申請號: 201711352608.0
• 申請日: 2017-12-15
• 公開（公告）號: CN108177037B
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 頓愛歡;邵建達;吳福林;徐學科;陳榮;許振其
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: B24B7/16
• 分類號: B24B7/16;B24B7/24;B24B41/06;B24B49/02
• 代理公司: 31317 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 張寧展<國際申請>=<國際公布>=<進入

一種大尺寸多塊釹玻璃元件側面加工裝置、檢測裝置和加工方法，裝置包括工裝夾具、標準單軸拋光機和檢測裝置，本發明實現了多塊釹玻璃元件側面捆綁式多件一次性批量加工和整盤面形檢測，加工效率高，加工成本低，可實現多塊釹玻璃元件側面的批量化加工，該發明也適用于其它徑厚比較大的大口徑矩形元件的側面加工。該發明也適用于其它徑厚比較大的大口徑矩形元件的側面加工，加工效率高，成本低。

技術領域

本發明涉及釹玻璃元件加工，特別是一種大尺寸多塊釹玻璃元件側面加工裝置、檢測裝置和加工方法，實現了多塊釹玻璃元件一次性加工和整盤面形檢測，加工效率高，加工成本低，可實現多塊多塊釹玻璃元件側面的批量化加工，該發明也適用于其它徑厚比較大的大口徑矩形元件的側面加工。

背景技術

摻釹激光玻璃(簡稱：釹玻璃)在高功率激光裝置中主要對激光能量進行放大，但是高功率激光釹玻璃的能量放大能力在很大程度上取決于對片狀激光釹玻璃放大器中放大自發輻射(Amplified Spontaneous Emission，ASE)即寄生振蕩的抑制程度。為了抑制片狀激光釹玻璃放大器中ASE(即寄生振蕩)，需要在垂直于光路方向的激光釹玻璃側面包裹吸收ASE的介質。目前大規模的高功率激光器中普遍采用摻銅離子的包邊玻璃作為ASE的吸收介質，并將摻銅的包邊玻璃與大口徑釹玻璃側面緊密貼合。上述抑制ASE的方法稱為釹玻璃包邊。釹玻璃包邊性能主要是包邊亮線、牢固度和包邊壽命，包邊質量的好壞直接影響裝置的性能。釹玻璃包邊質量除了使用的膠和包邊工藝之外，起決定性作用的就是包邊加工的精度，其中包括了釹玻璃側面加工和包邊玻璃的加工。

發明內容

本發明的目的在于提供一種大尺寸多塊釹玻璃元件側面加工裝置、檢測裝置和加工方法，實現了多塊釹玻璃元件一次性加工和整盤面形檢測，加工效率高，加工成本低，可實現多塊多塊釹玻璃元件側面的批量化加工，該發明也適用于其它徑厚比較大的大口徑矩形元件的側面加工，加工效率高，成本低。

克服了當前多塊釹玻璃元件側面單片加工效率低、加工過程面形變化大，不能實現批量化加工的缺陷。本發明利用特殊的工裝夾具和檢測裝置，實現了多塊釹玻璃元件捆綁式一次性加工和整盤面形在線檢測，不用反復上下盤，也不用重新拼盤捆綁，加工效率高，加工成本低，可實現多塊多塊釹玻璃元件側面的批量化加工。該發明也適用于它徑厚比較大的大口徑矩形元件的側面加工。

本發明的技術方案如下：

一種大形方片多塊釹玻璃元件側面加工裝置和檢測裝置，其特點在于所述的加工裝置包括工裝夾具和標準單軸拋光機，所述的工裝夾具由中空的四方的框形基板、支撐立柱、緊固螺釘、鎖緊機構、兩對稱的“]”形腔體壁構成的腔體和固定底板；所述的檢測裝置包括二維調整架、橫向電動導軌、三角橫梁、豎向電動導軌、豎式干涉儀、捆綁后的待加工多塊釹玻璃元件、可調推車、控制手柄、計算機和電氣控制箱，在所述的可調推車的下平臺上放置所述的電氣控制箱，中平臺設置所述的計算機和控制手柄，上平臺設置所述的二維調整架；在該二維調整架上固定所述的三角橫梁，該三角橫梁依靠所述的二維調整架可在水平面上運動；在該三角橫梁的豎直的直角邊上固定所述的豎向電動導軌，所述的豎式干涉儀呈懸臂狀鏈接在所述的豎向電動導軌上，可上下移動；所述的計算機與所述的豎式干涉儀通過電線相連，可對多塊釹玻璃元件側面的面形進行在線檢測；所述的豎向電動導軌和橫向電動導軌的運動狀態由所述的控制手柄實時控制。

所述的腔體的尺寸根據多塊釹玻璃元件同時加工的數量進行調節。

所述的豎式干涉儀采用豎式結構并配有直線導軌，可沿導軌在工作臺平面上前后左右運動，便于測量待測整盤多塊釹玻璃元件側面不同區域的面形數據。

所述的可調推車的高度和進給可調，便于檢測；配有滾輪和鎖緊塊，便于運動和靜止。

利用上述大形方片多塊釹玻璃元件側面加工裝置和檢測裝置進行多塊釹玻璃元件側面加工的方法，其特點在于該方法包括下列步驟：