[發明專利]大尺寸多塊釹玻璃元件側面加工裝置檢測裝置和加工方法

有效

• 申請號: 201711352608.0
• 申請日: 2017-12-15
• 公開（公告）號: CN108177037B
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 頓愛歡;邵建達;吳福林;徐學科;陳榮;許振其
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: B24B7/16
• 分類號: B24B7/16;B24B7/24;B24B41/06;B24B49/02
• 代理公司: 31317 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 張寧展<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種利用大形方片多塊釹玻璃元件側面加工裝置和檢測裝置進行多塊釹玻璃元件側面加工的方法，所述的加工裝置包括工裝夾具和標準單軸拋光機(27)，所述的工裝夾具由中空的四方的框形基板(16)、支撐立柱(17)、緊固螺釘(18)、鎖緊機構(19)、兩對稱的“]”形腔體壁構成的腔體(20)和固定底板(21)；所述的檢測裝置包括二維調整架(21)、橫向電動導軌(22)、三角橫梁(23)、豎向電動導軌(24)、豎式干涉儀(25)、捆綁后的待加工多塊釹玻璃元件(26)、可調推車(28)、控制手柄(29)、計算機(30)和電氣控制箱(31)，在所述的可調推車(28)的下平臺上放置所述的電氣控制箱(31)，中平臺設置所述的計算機(30)和控制手柄(29)，上平臺設置所述的二維調整架(21)；在該二維調整架(21)上固定所述的三角橫梁(23)，該三角橫梁(23)依靠所述的二維調整架(21)可在水平面上運動；在該三角橫梁(23)的豎直的直角邊上固定所述的豎向電動導軌(24)，所述的豎式干涉儀(25)呈懸臂狀鏈接在所述的豎向電動導軌(24)上，可上下移動；所述的計算機(30)與所述的豎式干涉儀(25)通過電線相連，可對多塊釹玻璃元件側面的面形進行在線檢測；所述的豎向電動導軌(24)和橫向電動導軌(22)的運動狀態由所述的控制手柄(29)實時控制；其特征在于該方法包括下列步驟：

1)將所述的固定底板(21)固定在所述的標準單軸拋光機(27)上，將所述的兩對稱的“]”形腔體壁的一半以及一個支撐立柱(17)通過緊固螺釘固定在所述的固定底板(21)上的左側，然后將待加工多塊釹玻璃元件(1、2、3、4、5)和塑料隔板(14)依次相間地放入所述的腔體(20)內，所述的多塊釹玻璃元件(1、2、3、4、5)的待加工側面朝上，且每兩片釹玻璃元件之間放置一片塑料隔板(14)；然后將“]”形腔體壁的另一半和另一支撐立柱(17)對接地安裝在所述的固定底板(21)上的右側，并通過鎖緊機構(19)夾緊腔體(20)內的多塊釹玻璃元件(1、2、3、4、5)；再將陪拋片基板(16)放置在對接好的腔體(20)上端并固定好；然后在所述的陪拋片基板(16)上涂上專用粘結劑，并將釹玻璃陪拋片(6、7、8、9、10、11、12、13)依次粘結在所述的陪拋片基板(16)上，且保持與待加工多塊釹玻璃元件(1、2、3、4、5)的待加工側面處在同一水平面上；

2)將拋光盤(15)反面朝上放在捆綁夾緊的整個工裝夾具的待加工面上，將標準單軸拋光機的鐵筆與拋光盤連接；

3)啟動標準單軸拋光機電源，加注拋光液對所述的多塊釹玻璃元件(1、2、3、4、5)的側面進行一次性加工；

4)停止運行所述的標準單軸拋光機(27)，并將拋光盤取下，用去離子水將多塊釹玻璃元件(1、2、3、4、5)的側面沖洗干凈，驅動所述的可調推車(28)至所述的標準單軸拋光機(27)附近，調節控制手柄(29)使所述的豎式干涉儀(25)的檢測孔徑恰好處在所述的多塊釹玻璃元件(1、2、3、4、5)的加工側面的正上方；啟動計算機(30)并打開面形檢測軟件，調節距離和高度直到所述的計算機(30)的顯示屏上顯示出清晰的面形干涉條紋并記錄數據，完成面形檢測；

5)如果檢測結果不合格，移除所述的檢測裝置，返回步驟2)，如果檢測結果合格，則移除所述的檢測裝置，拆卸所述的多塊釹玻璃元件(1、2、3、4、5)，加工完成。