[發(fā)明專利]一種涂布設(shè)備的熱處理腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711349779.8
• 申請(qǐng)日: 2017-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN108109943B
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈升好
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽省繁昌縣皖南閥門鑄造有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種涂布設(shè)備的熱處理腔室，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的上端設(shè)有第一殼體（9），所述第一殼體（9）的內(nèi)部設(shè)有中空腔，所述中空腔的內(nèi)底部對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)支撐板（6），兩個(gè)所述支撐板（6）的上端通過加熱板（2）連接，所述中空腔的內(nèi)底部設(shè)有兩個(gè)懸掛裝置，所述懸掛裝置的底部通過懸掛板（12）連接，所述懸掛板（12）的底部對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)固定板（7），兩個(gè)所述固定板（7）的側(cè)壁均貫穿設(shè)有第一伺服電機(jī)（11），兩個(gè)所述第一伺服電機(jī)（11）的輸出軸末端均固定連接有第一從動(dòng)輪（8），兩個(gè)所述固定板（7）相對(duì)的側(cè)壁均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿（5），兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿（5）相對(duì)的一端側(cè)壁通過第二殼體（4）固定連接，所述第二殼體（4）的內(nèi)部設(shè)有放置腔，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿（5）的外側(cè)壁均固定連接有第一主動(dòng)輪（3），兩個(gè)所述第一主動(dòng)輪（3）分別與相對(duì)的第一從動(dòng)輪（8）相互嚙合；

所述懸掛裝置包括對(duì)稱設(shè)置在中空腔內(nèi)頂部的兩個(gè)中空桿（15），兩個(gè)所述中空桿（15）的內(nèi)部均設(shè)有升降腔， 兩個(gè)所述升降腔內(nèi)均設(shè)有螺紋桿（17），兩個(gè)所述螺紋桿（17）的下端分別貫穿相對(duì)的中空桿（15）的底部側(cè)壁并與其螺紋連接，兩個(gè)所述螺紋桿（17）的底部側(cè)壁均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng) 塊，兩個(gè)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)塊的底部通過懸掛板（12）連接，兩個(gè)所述中空桿（15）的兩端側(cè)壁均 貫穿設(shè)有與升降腔相互連通的滑動(dòng)槽，兩個(gè)所述螺紋桿（17）的上端側(cè)壁通過橫板（13）轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且所述橫板（13）分別貫穿四個(gè)滑動(dòng)槽并與其滑動(dòng)連接，兩個(gè)所述螺紋桿（17）的外側(cè) 壁均螺紋連接有第二從動(dòng)輪（16），兩個(gè)所述第二從動(dòng)輪（16）的側(cè)壁均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二轉(zhuǎn)動(dòng)塊（18），兩個(gè)所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)塊（18）的底部分別與相對(duì)的升降腔內(nèi)底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩個(gè)相對(duì) 的所述滑動(dòng)槽的內(nèi)側(cè)壁均固定連接有延伸板（21），兩個(gè)所述延伸板（21）的底部側(cè)壁均固定 連接有第二伺服電機(jī)（20），兩個(gè)所述第二伺服電機(jī)（20）的輸出軸末端均固定連接有與第二從動(dòng)輪（16）相互嚙合的第二主動(dòng)輪（19）。

2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種涂布設(shè)備的熱處理腔室，其特征在于，兩個(gè)所述螺紋桿（17）的內(nèi)部均設(shè)有限位腔，兩個(gè)所述中空腔的內(nèi)頂部均設(shè)有第一限位桿（14），兩個(gè)所述第一限位桿（14）的下端均依次貫穿橫板（13）的側(cè)壁、螺紋桿（17）的上端側(cè)壁并與限位腔滑動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種涂布設(shè)備的熱處理腔室，其特征在于，所述中空腔的內(nèi)頂部對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)第二限位桿（10），兩個(gè)所述第二限位桿（10）的底部分別貫穿懸掛板（12）的底部側(cè)壁并與其滑動(dòng)連接。

4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種涂布設(shè)備的熱處理腔室，其特征在于，所述底座（1）的底部設(shè)有行走機(jī)構(gòu)，所述行走機(jī)構(gòu)為萬(wàn)向輪。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種涂布設(shè)備的熱處理腔室，其特征在于，所述中空腔的內(nèi)頂部設(shè)有多個(gè)懸掛彈簧，多個(gè)所述懸掛彈簧的底部均與橫板（13）的上端連接。