[發(fā)明專利]可提高拋光性能的化學機械拋光方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711348564.4 | 申請日： | 2017-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN109926910A | 公開（公告）日： | 2019-06-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | 潘繼東 | 申請（專利權）人： | 新昌縣新崎制冷設備有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 天津企興智財知識產權代理有限公司 12226 | 代理人： | 韓敏 |
| 地址： | 312500 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 拋光性能 化學機械拋光 拋光終點 檢測 統(tǒng)計 | ||
1.一種可提高拋光性能的化學機械拋光方法，其特征在于：該方法包括第一階段拋光、第二階段拋光和第三階段拋光，該方法包括以下步驟：
步驟1：統(tǒng)計得出第一階段拋光、第二階段拋光和第三階段拋光的總時間；
步驟2：將第一階段拋光時間設定為總時間的60-70％，將第二階段拋光時間設定為總時間的20-30％，并且按照設定時間進行拋光；
步驟3：進行第三階段拋光并檢測拋光終點，在檢測到拋光終點時停止拋光。
2.根據(jù)權利要求1所述的可提高拋光性能的化學機械拋光方法，其特征在于：通過統(tǒng)計實際拋光過程的拋光時間得出第一階段拋光、第二階段拋光和第三階段拋光的總時間為100秒。
3.根據(jù)權利要求1所述的可提高拋光性能的化學機械拋光方法，其特征在于：該拋光層為鎢膜。
4.根據(jù)權利要求3所述的可提高拋光性能的化學機械拋光方法，其特征在于：第一階段拋光壓力為25-30KPa，拋光時間為60秒，第二階段拋光壓力為15-20KPa，拋光時間為25秒，第三階段拋光壓力為10KPa，拋光時間為15秒。
5.根據(jù)權利要求1所述的可提高拋光性能的化學機械拋光方法，其特征在于：該拋光層為銅膜。
6.根據(jù)權利要求5所述的可提高拋光性能的化學機械拋光方法，其特征在于：第一階段拋光壓力為15-25KPa，拋光時間為60秒，第二階段拋光壓力為10-15KPa，拋光時間為25秒，第三階段拋光壓力為5KPa，拋光時間為15秒。
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