[發(fā)明專利]一種集成電路連線可靠性檢測方法及裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711342530.4 | 申請(qǐng)日： | 2017-12-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109959855A | 公開（公告）日： | 2019-07-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王小樂;江文 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 炬芯（珠海）科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01R31/28 | 分類號(hào)： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 519085 廣東省珠海市唐*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 待檢測信號(hào) 連線 集成電路 集成電路金屬 可靠性檢測 交疊區(qū) 連接層 金屬層 關(guān)聯(lián) 申請(qǐng) | ||
1.一種集成電路連線可靠性檢測方法，其特征在于，包括：
確定待檢測信號(hào)，以及所述待檢測信號(hào)使用的集成電路金屬層；
確定所述集成電路金屬層中相關(guān)聯(lián)的金屬層之間的交疊區(qū)中連接層的面積與所述交疊區(qū)總面積的比例；
根據(jù)所述比例以及所述待檢測信號(hào)對(duì)應(yīng)的連接層占比閾值，確定所述待檢測信號(hào)在所述集成電路中的連線可靠性。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述比例以及所述待檢測信號(hào)對(duì)應(yīng)的連接層占比閾值，確定所述待檢測信號(hào)在所述集成電路中的連線可靠性，包括：
若所述比例小于或等于所述連接層占比閾值，則確定所述待檢測信號(hào)在所述集成電路中的連線可靠性符合要求；
若所述比例大于所述連接層占比閾值，則確定所述待檢測信號(hào)在所述集成電路中的連線可靠性不符合要求。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述確定所述集成電路金屬層中相關(guān)聯(lián)的金屬層之間的交疊區(qū)中連接層的面積與所述交疊區(qū)總面積的比例，包括：
從所述待檢測信號(hào)使用的集成電路金屬層中排除被設(shè)置為不參與檢測的金屬層；
在排除了不參與檢測的金屬層中，確定相關(guān)聯(lián)的金屬層之間的交疊區(qū)中連接層的面積與所述交疊區(qū)總面積的比例。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
若所述待檢測信號(hào)使用的集成電路金屬層中相關(guān)聯(lián)的金屬層之間的交疊區(qū)中沒有連接層，則輸出用于指示沒有連接層的錯(cuò)誤提示信息。
5.一種集成電路連線可靠性檢測裝置，其特征在于，包括：
金屬層確定模塊，用于確定待檢測信號(hào)，以及所述待檢測信號(hào)使用的集成電路金屬層；
比例確定模塊，用于確定所述集成電路金屬層中相關(guān)聯(lián)的金屬層之間的交疊區(qū)中連接層的面積與所述交疊區(qū)總面積的比例；
可靠性確定模塊，用于根據(jù)所述比例以及所述待檢測信號(hào)對(duì)應(yīng)的連接層占比閾值，確定所述待檢測信號(hào)在所述集成電路中的連線可靠性。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述可靠性確定模塊，具體用于：
若所述比例小于或等于所述連接層占比閾值，則確定所述待檢測信號(hào)在所述集成電路中的連線可靠性符合要求；
若所述比例大于所述連接層占比閾值，則確定所述待檢測信號(hào)在所述集成電路中的連線可靠性不符合要求。
7.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述比例確定模塊，具體用于：
從所述待檢測信號(hào)使用的集成電路金屬層中排除被設(shè)置為不參與檢測的金屬層；
在排除了不參與檢測的金屬層中，確定相關(guān)聯(lián)的金屬層之間的交疊區(qū)中連接層的面積與所述交疊區(qū)總面積的比例。
8.如權(quán)利要求5至7中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述可靠性確定模塊，還用于：
若所述待檢測信號(hào)使用的集成電路金屬層中相關(guān)聯(lián)的金屬層之間的交疊區(qū)中沒有連接層，則輸出用于指示沒有連接層的錯(cuò)誤提示信息。
9.一種計(jì)算機(jī)設(shè)備，其特征在于，包括：處理器、存儲(chǔ)器、收發(fā)機(jī)，所述處理器、存儲(chǔ)器和收發(fā)機(jī)通過總線連接；
所述處理器，用于讀取存儲(chǔ)器中的程序，執(zhí)行如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法。
10.一種計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令，所述計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令用于使所述計(jì)算機(jī)執(zhí)行如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法。
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