[發明專利]硬掩模用組合物在審
| 申請號： | 201711340198.8 | 申請日： | 2017-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN108227386A | 公開（公告）日： | 2018-06-29 |
| 發明（設計）人： | 崔漢永;梁敦植;梁振錫;樸根永 | 申請（專利權）人： | 東友精細化工有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/11 | 分類號： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鮮英;宋海花 |
| 地址： | 韓國全*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硬掩模 聚合物 耐蝕刻性 甲苯基 聯苯基 溶劑 咔唑 | ||
【權利要求書】：
1.一種硬掩模用組合物，其包含下述化學式1所表示的聚合物和溶劑，所述化學式1所表示的聚合物包含含有芘系單元和咔唑系單元中的至少一種的第一單元、以及含有甲苯基或聯苯基的第二單元，
化學式1
化學式1中，Ar1表示所述第一單元，Ar2表示所述第二單元，n為2～100的整數。
2.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述第一單元來源于選自下述化學式2和化學式3中的至少一種的芳香族化合物，
化學式2
化學式3
化學式3中，Ar為碳原子數6～12的芳香族烴基。
3.根據權利要求2所述的硬掩模用組合物，所述化學式3所表示的化合物包含下述化學式3-1～3-3所表示的化合物中的至少一種，
化學式3-1
化學式3-2
化學式3-3
4.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述第二單元來源于下述化學式4所表示的化合物或其合成等價物，
化學式4
化學式4中，R為甲基或苯基。
5.根據權利要求4所述的硬掩模用組合物，所述合成等價物包含含有甲苯基或聯苯基的縮醛化合物。
6.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述聚合物僅由所述第一單元和所述第二單元構成。
7.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，進一步包含交聯劑、催化劑和表面活性劑中的至少一種。
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