[發(fā)明專利]一種玻璃基板薄化工藝蝕刻液

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711339121.9
• 申請(qǐng)日: 2017-12-14
• 公開（公告）號(hào): CN107902914A
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張杰;沈勵(lì);鄭建軍;姚仕軍;夏偉;吳青肖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津美泰真空技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 天津合志慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)12219
• 代理人: 宋西磊

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及玻璃基板減薄生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種玻璃基板薄化工藝蝕刻液。

背景技術(shù)

平板顯示領(lǐng)域中，包括等離子體顯示、觸摸屏、液晶顯示等制備工藝過程中，為了進(jìn)一步減輕顯示器件的重量，生產(chǎn)廠家越來越多的采用將玻璃基板進(jìn)行減薄的方法。玻璃基板減薄的方法通常有兩種，一種是物理拋光研磨，另一種是化學(xué)蝕刻減薄，其中，化學(xué)蝕刻減薄是最為廣泛應(yīng)用的。目前，所使用的減薄蝕刻液基板采用的都是以氫氟酸為主要成分，但氫氟酸的毒性大、易揮發(fā)，尤其是在配置時(shí)需采用較高的溫度和濃度，不僅生產(chǎn)過程中危險(xiǎn)性高，而且會(huì)對(duì)環(huán)境造成巨大污染。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明旨在提出一種玻璃基板薄化工藝蝕刻液，通過優(yōu)化配方，減少了氫氟酸的用量，同時(shí)添加了一些有利的輔劑，避免了上述問題。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種玻璃基板薄化工藝蝕刻液，該蝕刻液由包括如下重量百分比的原料制備得到：HF:1-5％，氟化物:10-25％，強(qiáng)酸:5-10％，乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸鹽(EDTA鹽)：1-5％，表面活性劑:1-2％，乙醇:1-2％，及余量的水。

進(jìn)一步，該蝕刻液由包括如下重量百分比的原料制備得到：HF:3-5％，氟化物:15-25％，強(qiáng)酸:5-10％，乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸鹽(EDTA鹽)：3-5％，表面活性劑:1-2％，乙醇:1-2％，及余量的水。

進(jìn)一步，所述氟化物為氟化鈉。

進(jìn)一步，所述強(qiáng)酸為鹽酸或硫酸或硝酸中的一種或幾種。

進(jìn)一步，所述表面活性劑為十二烷基硫酸鈉、十六烷基硫酸鈉、十八烷基硫酸鈉、二辛基琥珀酸磺酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉、聚氧乙烯脫水山梨醇單月桂酸酯、聚氧乙烯脫水山梨醇單棕櫚酸酯、聚氧乙烯脫水山梨醇單硬脂酸酯中的一種或幾種。

進(jìn)一步，所述乙二胺四乙酸鹽(EDTA鹽)為乙二胺四乙酸二鈉鹽(EDTA二鈉鹽)或乙二胺四乙酸四鈉鹽(EDTA四鈉鹽)。

進(jìn)一步，該蝕刻液由包括如下步驟的制備方法制備得到：

(1)將氟化物、乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸鹽(EDTA鹽)加入水中，攪拌使其完全溶解；

(2)將HF和強(qiáng)酸混合后加入步驟(1)得到的水溶液中稀釋；

(3)然后依次將乙醇和表面活性劑加入步驟(2)得到的溶液中，攪拌均勻。

相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明所述的玻璃基板薄化工藝蝕刻液具有以下優(yōu)勢：

本發(fā)明所述的玻璃基板薄化工藝蝕刻液設(shè)計(jì)了全新的蝕刻液配方，減少了氫氟酸的用量，添加了安全性更高的氟化物，大大降低了蝕刻液的毒性；添加的強(qiáng)酸能夠與玻璃成分中的陽離子結(jié)合，溶解蝕刻過程中產(chǎn)生的沉淀物；乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸鹽(EDTA鹽)是良好的金屬螯合劑，能夠與蝕刻時(shí)產(chǎn)生的金屬離子形成螯合物，更容易被水溶解，從而解決了時(shí)刻過程中副產(chǎn)物難溶的問題，避免產(chǎn)物附著在玻璃基板表面，提高了蝕刻速率和蝕刻效果；表面活性劑也能夠?qū)ΣＡП砻嫫鸬角鍧嵉淖饔谩?/p>

具體實(shí)施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本發(fā)明中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。

下面將結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明。

實(shí)施例1

一種玻璃基板薄化工藝蝕刻液，該蝕刻液由包括如表1所示的重量百分比的原料制備得到：

表1實(shí)施例1的蝕刻液的配方

實(shí)施例2

一種玻璃基板薄化工藝蝕刻液，該蝕刻液由包括如表2所示的重量百分比的原料制備得到：

表2實(shí)施例2的蝕刻液的配方

實(shí)施例3

一種玻璃基板薄化工藝蝕刻液，該蝕刻液由包括如表3所示的重量百分比的原料制備得到：

表3實(shí)施例3的蝕刻液的配方

實(shí)施例4

一種玻璃基板薄化工藝蝕刻液，該蝕刻液由包括如表4所示的重量百分比的原料制備得到：

表4實(shí)施例4的蝕刻液的配方

實(shí)施例1-4所述的玻璃基板薄化工藝蝕刻液由包括如下步驟的制備方法制備得到：

(1)將氟化物、乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸鹽加入水中，攪拌使其完全溶解；

(2)將HF和強(qiáng)酸混合后加入步驟(1)得到的水溶液中稀釋；

(3)然后依次將乙醇和表面活性劑加入步驟(2)得到的溶液中，攪拌均勻。