[發明專利]一種玻璃基板薄化工藝蝕刻液

在審

• 申請號: 201711339121.9
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN107902914A
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 張杰;沈勵;鄭建軍;姚仕軍;夏偉;吳青肖
• 申請（專利權）人: 天津美泰真空技術有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 天津合志慧知識產權代理事務所(普通合伙)12219
• 代理人: 宋西磊

1.一種玻璃基板薄化工藝蝕刻液，其特征在于：該蝕刻液由包括如下重量百分比的原料制備得到：HF:1-5％，氟化物:10-25％，強酸:5-10％，乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸鹽(EDTA鹽)：1-5％，表面活性劑:1-2％，乙醇:1-2％，及余量的水。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板薄化工藝蝕刻液，其特征在于：該蝕刻液由包括如下重量百分比的原料制備得到：HF:3-5％，氟化物:15-25％，強酸:5-10％，乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸鹽(EDTA鹽)：3-5％，表面活性劑:1-2％，乙醇:1-2％，及余量的水。

3.根據權利要求1或2所述的玻璃基板薄化工藝蝕刻液，其特征在于：所述氟化物為氟化鈉。

4.根據權利要求1或2所述的玻璃基板薄化工藝蝕刻液，其特征在于：所述強酸為鹽酸或硫酸或硝酸中的一種或幾種。

5.根據權利要求1或2所述的玻璃基板薄化工藝蝕刻液，其特征在于：所述表面活性劑為十二烷基硫酸鈉、十六烷基硫酸鈉、十八烷基硫酸鈉、二辛基琥珀酸磺酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉、聚氧乙烯脫水山梨醇單月桂酸酯、聚氧乙烯脫水山梨醇單棕櫚酸酯、聚氧乙烯脫水山梨醇單硬脂酸酯中的一種或幾種。

6.根據權利要求1或2所述的玻璃基板薄化工藝蝕刻液，其特征在于：所述乙二胺四乙酸鹽(EDTA鹽)為乙二胺四乙酸二鈉鹽(EDTA二鈉鹽)或乙二胺四乙酸四鈉鹽(EDTA四鈉鹽)。

7.根據權利要求1或2所述的玻璃基板薄化工藝蝕刻液，其特征在于：該蝕刻液由包括如下步驟的制備方法制備得到：

(1)將氟化物、乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸鹽(EDTA鹽)加入水中，攪拌使其完全溶解；

(2)將HF和強酸混合后加入步驟(1)得到的水溶液中稀釋；

(3)然后依次將乙醇和表面活性劑加入步驟(2)得到的溶液中，攪拌均勻。