[發明專利]采用噴墨打印制備ITO透明導電膜的方法有效
| 申請號: | 201711338537.9 | 申請日: | 2017-12-14 |
| 公開(公告)號: | CN108109723B | 公開(公告)日: | 2019-02-22 |
| 發明(設計)人: | 鄒翠;周劍飛;李宏建;夏輝 | 申請(專利權)人: | 湖南興威新材料有限公司 |
| 主分類號: | H01B5/14 | 分類號: | H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司: | 北京紐樂康知識產權代理事務所(普通合伙) 11210 | 代理人: | 黃敏華 |
| 地址: | 410215 湖南省長沙市望城經濟開*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 打印墨水 打印 噴墨打印機 噴墨打印 基板 制備 半成品 墨盒 退火 導電性 保護氣體 超聲清洗 導電圖形 環境要求 刻蝕工藝 平均粒徑 透光率 烘烤 吹干 凝膠 裝入 清洗 | ||
本發明公開了一種采用噴墨打印制備ITO透明導電膜的方法,其包括以下步驟:采用溶膠?凝膠法制備打印墨水,所述打印墨水中的ITO前驅體的平均粒徑為20?40nm、粘度為5?15cps以及表面張力為20?30mN/m;對基片進行超聲清洗,且清洗后吹干;將步驟一所得的打印墨水裝入噴墨打印機的墨盒中,所述噴墨打印機在經步驟二處理后的基板上進行打印,獲得ITO透明導電膜半成品;打印時,環境的相對濕度為50?60%,基板的溫度為40?60℃;將ITO透明導電膜半成品在150℃的溫度下烘烤30?40min,然后在保護氣體的環境下以200?300℃的溫度退火2?3h,從而獲得ITO透明導電膜成品;采用該方法所得的ITO透明導電膜導電性好、透光率高,還可打印出任意導電圖形,其不需要刻蝕工藝、節省原料,對環境要求不苛刻。
技術領域
本發明涉及透明導電膜技術領域,具體涉及一種采用噴墨打印制備ITO透明導電膜的方法。
背景技術
摻錫氧化銦(IndiumTinOxide),簡稱ITO,是一種n型半導體材料,具有導電率高、可見光透過率高、機械硬度高和化學穩定性優良等優點,主要應用于光電器件領域,特別是平板顯示器、薄膜太陽能電池等領域,是液晶顯示器、等離子顯示器、電致發光顯示器、觸摸屏、太陽能電池以及其他電子儀表的透明電極最常用的薄膜材料。
在現有技術中,ITO薄膜的傳統做法是干法制備,如磁控濺射法、化學氣相沉積法、噴霧熱分解法等,這些方法都要求真空環境,制備條件苛刻,工藝復雜,設備投資較高,ITO成本居高不下。
因此,現需提供一種低成本、簡易工藝、高效率的采用噴墨打印制備ITO透明導電膜的方法。
發明內容
為此,本發明提供了一種采用噴墨打印制備ITO透明導電膜的方法,其包括以下步驟:
步驟一、采用溶膠-凝膠法制備打印墨水,所述打印墨水中的ITO前驅體的平均粒徑為20-40nm、粘度為5-15cps以及表面張力為20-30mN/m;
步驟二、對基片進行超聲清洗,且清洗后吹干;
步驟三、將步驟一所得的打印墨水裝入噴墨打印機的墨盒中,所述噴墨打印機在經步驟二處理后的基板上進行打印,獲得ITO透明導電膜半成品;打印時,環境的相對濕度為50-60%,基板的溫度為40-60℃;
步驟四、將ITO透明導電膜半成品在150℃的溫度下烘烤30-40min,然后在保護氣體的環境下以200-300℃的溫度退火2-3h,從而獲得ITO透明導電膜成品。
在步驟一中,所述打印墨水的具體制備過程為:將錫鹽、銦鹽、穩定劑、去離子水、添加劑以及溶劑按1:8~12:0~0.05:0.1~0.6:0-0.1:10~20的摩爾比混合均勻,然后將混合液轉移至高壓反應釜中于60-90℃的溫度下反應2~5h,冷卻后取出靜置48h,即獲得所述打印墨水。
所述錫鹽設為無水SnCl4或SnCl·5H2O。
所述銦鹽設為無水硝酸銦或無水氯化銦。
所述穩定劑包括聚乙烯吡咯烷酮、十六烷基三甲基溴化銨、聚乙烯醇600、乙醇胺、二乙醇胺、尿素、硅烷偶聯劑KH550、硅烷偶聯劑KH560、鈦酸酯偶聯劑、草酸中的任一一種或多種。
所述溶劑包括乙醇、正丙醇、正丁醇、乙酰丙酮中的一種多種。
在步驟二中,所述基片設為玻璃,所述基片的超聲清洗包括依次用丙酮、乙醇、去離子水超聲清洗15-20min,而后在將基片置于KMnO4的質量百分數為0.5%的堿溶液進行超聲清洗10min;清洗過后用氮氣將基片吹干。
所述堿溶液設為NaOH的質量百分數為1%的堿溶液。
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