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[發明專利]采用噴墨打印制備ITO透明導電膜的方法有效

專利信息
申請號: 201711338537.9 申請日: 2017-12-14
公開(公告)號: CN108109723B 公開(公告)日: 2019-02-22
發明(設計)人: 鄒翠;周劍飛;李宏建;夏輝 申請(專利權)人: 湖南興威新材料有限公司
主分類號: H01B5/14 分類號: H01B5/14;H01B13/00
代理公司: 北京紐樂康知識產權代理事務所(普通合伙) 11210 代理人: 黃敏華
地址: 410215 湖南省長沙市望城經濟開*** 國省代碼: 湖南;43
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 打印墨水 打印 噴墨打印機 噴墨打印 基板 制備 半成品 墨盒 退火 導電性 保護氣體 超聲清洗 導電圖形 環境要求 刻蝕工藝 平均粒徑 透光率 烘烤 吹干 凝膠 裝入 清洗
【權利要求書】:

1.采用噴墨打印制備ITO透明導電膜的方法,其特征在于:其包括以下步驟:

步驟一、采用溶膠-凝膠法制備打印墨水:將錫鹽、銦鹽、穩定劑、去離子水、添加劑以及溶劑按1:8~12:0~0.05:0.1~0.6:0-0.1:10~20的摩爾比混合均勻,然后將混合液轉移至高壓反應釜中于60-90℃的溫度下反應2~5h,冷卻后取出靜置48h,即獲得所述打印墨水,所述打印墨水中的ITO前驅體的平均粒徑為20-40nm、粘度為5-15cps以及表面張力為20-30mN/m;所述錫鹽設為無水SnCl4;所述銦鹽設為無水氯化銦;所述穩定劑包括聚乙烯吡咯烷酮、硅烷偶聯劑KH550、草酸中的任一一種或多種;所述溶劑包括乙醇、乙酰丙酮中的一種或多種;

步驟二、對基片進行超聲清洗,所述基片設為玻璃,所述基片的超聲清洗包括依次用丙酮、乙醇、去離子水超聲清洗15-20min,而后在將基片置于KMnO4的質量百分數為0.5%的堿溶液進行超聲清洗10min;清洗過后用氮氣將基片吹干;所述堿溶液設為NaOH的質量百分數為1%的堿溶液;

步驟三、將步驟一所得的打印墨水裝入噴墨打印機的墨盒中,所述噴墨打印機在經步驟二處理后的基板上進行打印,獲得ITO透明導電膜半成品;打印時,環境的相對濕度為50-60%,基板的溫度為40-60℃;所述噴墨打印機為數控噴墨打印機,該數控噴墨打印機配用45PL的Spectra SE-128噴頭,且可任意控制噴頭的波形和電壓及任意噴孔的噴射狀態;

步驟四、將ITO透明導電膜半成品在150℃的溫度下烘烤30-40min,然后在保護氣體的環境下以200-300℃的溫度退火2-3h,從而獲得ITO透明導電膜成品,所述保護氣體設為氫氣或氮氣或氬氣。

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