[發明專利]一種微小元件高低溫形變測量裝置

在審

• 申請號: 201711333792.4
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN108195297A
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 單勇革;李永春
• 申請（專利權）人: 太原航空儀表有限公司
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 中國航空專利中心 11008
• 代理人: 王中興

本發明涉及一種微小元件高低溫形變測量裝置，包括檢測艙室、光幕測量儀、可變焦形變測量儀、冷熱風通風裝置；其中，檢測艙室為立方體全透明艙室，采用真空玻璃制成，真空玻璃的內外壁附有透明加熱膜，具有加溫除冰功能；檢測艙室的一面設置有艙門，艙門與檢測艙室相連接部位設置有密封條；所述艙門的制造材料與檢測艙室相同，其內外壁附有透明加熱膜；檢測艙室的一面同時設有進氣孔、出氣孔和溫度傳感器入口；在檢測艙室外，艙門背對面放置可變焦形變測量儀；在檢測艙室左右上下四面的外面放置兩組光幕測量儀；所述冷熱風通風裝置通過進氣孔吹入所需的冷熱風；被測微小元件置于檢測艙室內部，實現對微小元件在高低溫環境下全方位形變測量。

技術領域

本發明屬于型面測量技術，涉及一種微小元件高低溫形變測量裝置。

背景技術

此裝置目前國內外未見報道。現有微小元件形變測量只能在常溫條件下進行形變測量，在高溫、低溫條件下不能實現360度全方位測量。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：提供一種微小元件高低溫形變測量裝置，能夠實現在高溫、低溫條件下進行360度全方位測量。

本發明的技術方案是：一種微小元件高低溫形變測量裝置，包括檢測艙室、光幕測量儀、可變焦形變測量儀、冷熱風通風裝置；其中，檢測艙室為立方體全透明艙室，采用真空玻璃制成，真空玻璃的內外壁附有透明加熱膜，具有加溫除冰功能；檢測艙室的一面設置有艙門，艙門與檢測艙室相連接部位設置有密封條；所述艙門的制造材料與檢測艙室相同，其內外壁附有透明加熱膜；檢測艙室的一面同時設有進氣孔、出氣孔和溫度傳感器入口；在檢測艙室外，艙門背對面放置可變焦形變測量儀；在檢測艙室左右上下四面的外面放置兩組光幕測量儀；所述冷熱風通風裝置通過進氣孔吹入所需的冷熱風；被測微小元件置于檢測艙室內部，實現對微小元件在高低溫環境下全方位形變測量。

進一步的，所述進氣孔和出氣孔設置為檢測艙室一面的對角位置。

進一步的，所述進氣孔、出氣孔、溫度傳感器入口為可封閉孔。

進一步的，所述密封條為橡膠密封條。

本發明的有益效果是：本發明裝置微小元件高低溫形變測量裝置，采用真空玻璃制成檢測艙室，艙室通入暖風、冷風，利用光幕及可變焦形變測量儀實現對微小元件進行360度全方位形變測量。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

其中1-進氣孔、2-出氣孔、3-溫度傳感器入口、4-光幕測試儀、5-真空玻璃、6-微小元件、7-可變焦形變測量儀

具體實施方式

下面結合附圖對本發明的具體實施方式做進一步說明。

參見圖1，一種微小元件高低溫形變測量裝置，包括檢測艙室、光幕測量儀4、可變焦形變測量儀7、冷熱風通風裝置1、2；其中，檢測艙室為立方體全透明艙室，采用真空玻璃制成，真空玻璃的內外壁附有透明加熱膜，具有加溫除冰功能；檢測艙室的一面設置有艙門，艙門與檢測艙室相連接部位設置有密封條；所述艙門的制造材料與檢測艙室相同，其內外壁附有透明加熱膜；檢測艙室的一面同時設有進氣孔、出氣孔和溫度傳感器入口；在檢測艙室外，艙門背對面放置可變焦形變測量儀；在檢測艙室左右上下四面的外面放置兩組光幕測量儀；所述冷熱風通風裝置通過進氣孔吹入所需的冷熱風；被測微小元件置于檢測艙室內部，實現對微小元件在高低溫環境下全方位形變測量。所述進氣孔和出氣孔設置為檢測艙室一面的對角位置。所述進氣孔1、出氣孔2、溫度傳感器入口3為可封閉孔。所述密封條為橡膠密封條。

參見圖1，本發明一種微小元件高低溫形變測量裝置，檢測艙室均由真空玻璃制成，玻璃內外壁間為真空并有加溫除冰功能。正視圖為檢測艙室的艙門，圖中1、2、3均為可封閉孔。其中：

——進風口1，可接入熱風、冷風可實現艙內高低溫的環境；