[發(fā)明專(zhuān)利]一種微小元件高低溫形變測(cè)量裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711333792.4
• 申請(qǐng)日: 2017-12-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108195297A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 單勇革;李永春
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 太原航空儀表有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/16
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/16
• 代理公司: 中國(guó)航空專(zhuān)利中心 11008
• 代理人: 王中興

1.一種微小元件高低溫形變測(cè)量裝置，其特征為：所述微小元件高低溫形變測(cè)量裝置包括檢測(cè)艙室、光幕測(cè)量?jī)x、可變焦形變測(cè)量?jī)x、冷熱風(fēng)通風(fēng)裝置；其中，檢測(cè)艙室為立方體全透明艙室，采用真空玻璃制成，真空玻璃的內(nèi)外壁附有透明加熱膜，具有加溫除冰功能；檢測(cè)艙室的一面設(shè)置有艙門(mén)，艙門(mén)與檢測(cè)艙室相連接部位設(shè)置有密封條；所述艙門(mén)的制造材料與檢測(cè)艙室相同，其內(nèi)外壁附有透明加熱膜；檢測(cè)艙室的一面同時(shí)設(shè)有進(jìn)氣孔、出氣孔和溫度傳感器入口；在檢測(cè)艙室外，艙門(mén)背對(duì)面放置可變焦形變測(cè)量?jī)x；在檢測(cè)艙室左右上下四面的外面放置兩組光幕測(cè)量?jī)x；所述冷熱風(fēng)通風(fēng)裝置通過(guò)進(jìn)氣孔吹入所需的冷熱風(fēng)；被測(cè)微小元件置于檢測(cè)艙室內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)對(duì)微小元件在高低溫環(huán)境下全方位形變測(cè)量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微小元件高低溫形變測(cè)量裝置，其特征為：所述進(jìn)氣孔和出氣孔設(shè)置為檢測(cè)艙室一面的對(duì)角位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微小元件高低溫形變測(cè)量裝置，其特征為：所述進(jìn)氣孔、出氣孔、溫度傳感器入口為可封閉孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微小元件高低溫形變測(cè)量裝置，其特征為：所述密封條為橡膠密封條。