[發(fā)明專利]氧化鈹基衰減瓷金屬化方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711331429.9 | 申請(qǐng)日: | 2017-12-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN107904575B | 公開(公告)日: | 2020-06-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 毛晉峰;尚華;段冰;劉志文 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 宜賓紅星電子有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C18/34 | 分類號(hào): | C23C18/34;C23C18/18;C04B41/00;C04B41/90 |
| 代理公司: | 成都虹橋?qū)@聞?wù)所(普通合伙) 51124 | 代理人: | 張小麗;梁鑫 |
| 地址: | 644007 四*** | 國(guó)省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 氧化鈹 衰減 金屬化 方法 | ||
本發(fā)明屬于電子功能陶瓷材料技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種氧化鈹基衰減瓷金屬化方法。本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種氧化鈹基衰減瓷金屬化方法,包括以下步驟:在傳統(tǒng)金屬化方法基礎(chǔ)上,增加預(yù)處理和化學(xué)鍍鎳步驟中的激活及鈍化操作。本發(fā)明方法有效避免了氧化鈹基衰減瓷因自身特性所導(dǎo)致的金屬化過程缺鍍、鋪邊等缺陷,提升產(chǎn)品質(zhì)量。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于電子功能陶瓷材料技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種氧化鈹基衰減瓷金屬化方法。
背景技術(shù)
微波電真空管最早被人叫做超高頻電子管,主要以速調(diào)管、行波管、返波管、磁控管為代表,在雷達(dá)、軍用廣播、衛(wèi)星通信、電子對(duì)抗等國(guó)防領(lǐng)域有重要應(yīng)用。衰減器作為微波電真空管中的重要組成部分,主要起到提供匹配電磁終端,抑制帶邊、高次或寄生模式振蕩以及消除其它非設(shè)計(jì)模式的作用。目前常用的體結(jié)構(gòu)衰減器基本是以陶瓷形態(tài)存在,所以也叫衰減瓷,而用氧化鈹作為主要基體材料的衰減瓷則稱為氧化鈹基衰減瓷,該衰減瓷以其優(yōu)良的熱導(dǎo)率和衰減性,被廣泛應(yīng)用于大功率高頻微波電真空管中,發(fā)揮著重要作用。
在傳統(tǒng)的使用中,一般是將氧化鈹基衰減瓷制成環(huán)狀或塊狀,一個(gè)緊挨一個(gè)的擺放在真空管腔體內(nèi)部,再采用機(jī)械固定的方式加以固定,這樣的結(jié)構(gòu)工藝簡(jiǎn)單,操作簡(jiǎn)便,但是對(duì)瓷體的物理尺寸要求極高,而且瓷體與腔體本質(zhì)上不為一個(gè)整體,由于熱膨脹系數(shù)的影響,在高溫狀態(tài)下容易出現(xiàn)瓷體與腔體變形脫離,不僅阻礙熱量及時(shí)導(dǎo)出,更甚者產(chǎn)生次級(jí)振蕩,導(dǎo)致衰減失效,破壞真空管整體性能。為了解決該問題,采用的方法是先將氧化鈹基衰減瓷進(jìn)行金屬化處理,通過化學(xué)鍍鎳使其具備可焊性,最后通過焊接方式與真空管腔體結(jié)合為有機(jī)整體。
經(jīng)過長(zhǎng)期生產(chǎn)發(fā)現(xiàn),由于氧化鈹基衰減瓷自身材料的特殊性,采用常規(guī)陶瓷金屬化方法,極易在過程中出現(xiàn)缺鍍(瓷體表面金屬化區(qū)域鎳層缺失、不完整)、鋪邊(瓷體表面非金屬化區(qū)域異常上鎳)缺陷,且占比較高,影響成品率。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明在常規(guī)陶瓷金屬化方法基礎(chǔ)上,增加了預(yù)處理和化學(xué)鍍鎳中的激活和鈍化步驟,從而提供了一種更適合于氧化鈹基衰減瓷的金屬化方法,有效降低缺鍍、鋪邊等缺陷的比例,提升成品率。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種氧化鈹基衰減瓷金屬化方法。該氧化鈹基衰減瓷金屬化方法包括以下步驟:將氧化鈹基衰減瓷預(yù)處理、漿料涂覆、燒結(jié)、化學(xué)鍍鎳;
其中,所述的預(yù)處理包括以下步驟:
①將氧化鈹基衰減瓷用鹽酸浸泡、水洗、烘干;
②將步驟①處理后的氧化鈹基衰減瓷在還原氣氛下進(jìn)行高溫處理;所述高溫處理具體為:于10~15min從室溫升溫至380~420℃;于10~15min從380~420℃升溫至780~820℃;于20~25min從780~820℃升溫至980~1020℃后保溫30~35min;于20~25min從980~1020℃降溫至580~620℃;于20~25min從580~620℃降至室溫;
所述的化學(xué)鍍鎳包括以下步驟:
a、酸洗;
b、活化;
c、激活:將步驟b活化后的衰減瓷放入激活液中浸泡后取出;所述激活液由以下原料氯化鎳︰次亞磷酸鈉︰檸檬酸三鈉︰氯化銨︰去離子水按照重量比50~60︰10~18︰55~75︰60~80︰700~750混合配制而成;
d、鈍化:將步驟c激活后的衰減瓷用水沖洗,再放入水中浸泡,待表面無起泡產(chǎn)生后取出;
e、鍍鎳。
優(yōu)選的,上述氧化鈹基衰減瓷金屬化方法中,所述預(yù)處理步驟①具體為:用質(zhì)量分?jǐn)?shù)15%~20%鹽酸完全浸泡衰減瓷30~40分鐘后,用清水沖洗,再用45~50KHz頻率的超聲波清洗10~15分鐘,取出于100~120℃干燥10~15分鐘。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C18-00 通過液態(tài)化合物分解抑或覆層形成化合物溶液分解、且覆層中不留存表面材料反應(yīng)產(chǎn)物的化學(xué)鍍覆
C23C18-02 .熱分解法
C23C18-14 .輻射分解法,例如光分解、粒子輻射
C23C18-16 .還原法或置換法,例如無電流鍍
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C23C18-18 ..待鍍材料的預(yù)處理
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