[發明專利]一種改善性能的DLC膜制備方法

在審

• 申請號: 201711330311.4
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN109913817A
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 凌云;黃樂;陳立;祝海生;黃夏;孫桂紅;黃國興
• 申請（專利權）人: 湘潭宏大真空技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/58;B05D7/24;C09D183/04;C09D161/20
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 安曼

本發明公開了一種改善性能的DLC膜制備方法，所述方法包括如下幾個步驟：噴涂或旋涂散熱層，真空蒸鍍DLC膜和功能膜，蒸鍍完成后進行退火燒結。本發明采用散熱層代替原有的橋接層，不僅壓縮了整個膜系的厚度，并且大大改善了原有膜系結構散熱不好的問題，制備方法根據現有的膜系進行改良，將制備工藝進行壓縮，使得本方法在連續鍍膜后再進行固化反應，縮短了鍍膜時間，膜層間連接更加緊密，使得在膜層層數不減少的情況下，整個膜系的厚度減少。

技術領域

本發明涉及一種改善性能的DLC膜制備方法，屬于化學鍍膜領域。

背景技術

類金剛石鍍膜(Diamond-likecarbon)是一種由碳元素構成、在性質上和鉆石類似，同時又具有石墨原子組成結構的物質。類金剛石薄膜(DLC)是一種非晶態薄膜，由于具有高硬度和高彈性模量，低摩擦因數，耐磨損以及良好的真空摩擦學特性，很適合于作為耐磨涂層，從而引起了摩擦學界的重視。目前制備DLC薄膜的方法很多，不同的制備方法所用的碳源以及到達基體表面的離子能量不同，沉積的DLC膜的結構和性能存在很大差別，摩擦學性能也不相同。

類金剛石膜具有很好的延展性，可以與多種膜系組合使用，如抗反射膜、防指紋膜等，以滿足現有的不同顯示屏蓋板的需求，但多種膜系組合，為了膜系的組合效果更好，需要在不同的膜系之間添加橋接層，這樣勢必會導致DLC膜系的厚度增加，進而導致散熱性下降，影響屏幕蓋板的使用體驗，且容易發生損壞。

發明內容

針對現有技術存在的上述問題，本發明的目的是獲得一種改善性能的DLC膜制備方法。

為實現上述發明目的，本發明采用的改善性能的DLC膜的技術方案如下：

本發明的目的在于提供一種上述改善性能的DLC膜的制備方法，所述方法具體如下：

按照DLC膜層的結構設計鍍膜方法，所述方法包括如下幾個步驟：噴涂或旋涂散熱層，真空蒸鍍DLC膜和功能膜，蒸鍍完成后進行退火燒結。

采用本發明中的改善性能的DLC膜的制備方法制備的膜系結構依次包括：基板、DLC膜和功能層，其中基板與DLC膜之間，DLC膜與功能層之間，至少設有一層散熱層。

優選地，所述散熱層為改性石墨烯散熱層，散熱層包括石墨烯和樹脂，樹脂包括散熱硅膠和氨基樹脂兩種。

更優選地，石墨烯表面羥基化，與氨基樹脂反應后連接，加入散熱硅膠后固化形成散熱層。

更優選地，石墨烯表面經強堿或乙醇羥基化。

優選地，基板包括柔性基板和玻璃基板。

優選地，基板為高分子柔性基板。

優選地，功能層包括抗反射膜和/或防指紋膜。

與現有技術相比，本發明采用散熱層代替原有的橋接層，不僅壓縮了整個膜系的厚度，并且大大改善了原有膜系結構散熱不好的問題，制備方法根據現有的膜系進行改良，將制備工藝進行壓縮，使得本方法在連續鍍膜后再進行固化反應，縮短了鍍膜時間，膜層間連接更加緊密，使得在膜層層數不減少的情況下，整個膜系的厚度減少。

具體實施方式

下面結合實施例對本發明提供的改善性能的DLC膜及其制備方法作進一步詳細、完整地說明。下面描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發明，而不能理解為對本發明的限制。

下述實施例中的實驗方法，如無特殊說明，均為常規方法。下述實施例中所用的實驗材料如無特殊說明，均為市場購買得到。

本發明中的改善性能的DLC膜的膜系結構依次包括：基板、DLC膜和功能層，其中基板與DLC膜之間，DLC膜與功能層之間，至少設有一層散熱層。所述散熱層為改性石墨烯散熱層，散熱層包括石墨烯和樹脂，樹脂包括散熱硅膠和氨基樹脂兩種。