[發明專利]一種改善性能的DLC膜制備方法在審
| 申請號： | 201711330311.4 | 申請日： | 2017-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN109913817A | 公開（公告）日： | 2019-06-21 |
| 發明（設計）人： | 凌云;黃樂;陳立;祝海生;黃夏;孫桂紅;黃國興 | 申請（專利權）人： | 湘潭宏大真空技術股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/58;B05D7/24;C09D183/04;C09D161/20 |
| 代理公司： | 上海精晟知識產權代理有限公司 31253 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 膜系 制備 改善性能 散熱層 退火 固化反應 厚度減少 連續鍍膜 膜系結構 真空蒸鍍 制備工藝 壓縮 燒結 功能膜 橋接層 原有的 散熱 噴涂 鍍膜 膜層 旋涂 蒸鍍 改良 | ||
【權利要求書】：
1.一種改善性能的DLC膜制備方法，其特征在于，所述方法包括如下幾個步驟：噴涂或旋涂散熱層，真空蒸鍍DLC膜和功能膜，蒸鍍完成后進行退火燒結。
2.根據權利要求1所述的改善性能的DLC膜制備方法，其特征在于：所述的退火溫度低于300℃。
3.采用根據權利要求1所述的改善性能的DLC膜制備方法，其特征在于：制備的膜系結構依次包括：基板、DLC膜和功能層，其中基板與DLC膜之間，DLC膜與功能層之間，至少設有一層散熱層。
4.根據權利要求1所述的改善性能的DLC膜制備方法，其特征在于：所述散熱層為改性石墨烯散熱層，散熱層包括石墨烯和樹脂，樹脂包括散熱硅膠和氨基樹脂兩種。
5.根據權利要求1所述的改善性能的DLC膜制備方法，其特征在于：石墨烯表面羥基化，與氨基樹脂反應后連接，加入散熱硅膠后固化形成散熱層。
6.根據權利要求1所述的改善性能的DLC膜制備方法，其特征在于：石墨烯表面經強堿或乙醇羥基化。
7.根據權利要求1所述的改善性能的DLC膜制備方法，其特征在于：基板包括柔性基板和玻璃基板。
8.根據權利要求1所述的改善性能的DLC膜制備方法，其特征在于：基板為高分子柔性基板。
9.根據權利要求1所述的改善性能的DLC膜制備方法，其特征在于：功能層包括抗反射膜和/或防指紋膜。
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